[發(fā)明專利]一種具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710050225.8
• 申請(qǐng)日: 2007-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN101135670A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜曉松;蔣亞東;胡佳;謝光忠;劉忠祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N29/02
• 分類號(hào): G01N29/02;G01N29/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，包括壓電基板和兩對(duì)叉指電極，其中叉指電極設(shè)置在壓電基板上，構(gòu)成平行的聲表面波測量通道和參考通道，其特征在于，在測量通道上涂敷有敏感薄膜，在參考通道上涂敷有濕度補(bǔ)償薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，所述濕度補(bǔ)償薄膜是對(duì)目標(biāo)氣體不敏感的有機(jī)材料或者無機(jī)材料或者有機(jī)材料和無機(jī)材料的復(fù)合材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，所述濕度補(bǔ)償薄膜的厚度根據(jù)所述敏感薄膜的濕敏特性來調(diào)節(jié)，使參考通道和測量通道具有相同的濕敏特性。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，測量通道和參考通道設(shè)置在不同的壓電基板上，其中叉指電極和壓電基板分別為同一規(guī)格。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，所述叉指電極為延遲線結(jié)構(gòu)或者諧振器結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，所述壓電基板為壓電晶體材料或者壓電薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有濕度補(bǔ)償功能的雙通道聲表面波氣體傳感器，其特征在于，聲表面波為瑞利波、樂甫波、表面橫波、蘭姆波和水平剪切板波中的一種。