[發明專利]釔鐵石榴石薄膜材料及制備方法無效
| 申請號： | 200710050194.6 | 申請日： | 2007-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN101148753A | 公開（公告）日： | 2008-03-26 |
| 發明（設計）人： | 張懷武;楊青慧;劉穎力;文岐業;李元勛;張艷霞;賈利軍 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 成都惠迪專利事務所 | 代理人： | 王建國 |
| 地址： | 610054四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鐵石 薄膜 材料 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.釔鐵石榴石薄膜材料制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)清洗基片表面；
2)真空環境下在基片上濺射薄膜；
3)微波退火薄膜材料。
2.如權利要求1所述的釔鐵石榴石薄膜材料制備方法，其特征在于，所述步驟3)為：將濺射沉積的薄膜放入微波處理爐中，在空氣或者保護性氣體下，升溫至適當溫度，保溫一段時間，再冷卻。
3.如權利要求2所述的釔鐵石榴石薄膜材料制備方法，其特征在于，所述保護性氣體為O2，N2或Ar。
4.如權利要求2所述的釔鐵石榴石薄膜材料制備方法，其特征在于，微波退火晶化溫度為500℃，保溫1～5分鐘。
5.采用權利要求1所述的釔鐵石榴石薄膜材料制備方法制備的釔鐵石榴石薄膜材料。
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