[發明專利]壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法

有效

• 申請號: 200710049828.6
• 申請日: 2007-08-23
• 公開（公告）號: CN101372758A
• 公開（公告）日: 2009-02-25
• 發明（設計）人: 李代雄;周祿雄;陳金靈;王顯波
• 申請（專利權）人: 四川省三臺水晶電子有限公司
• 主分類號: C30B7/10
• 分類號: C30B7/10
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司
• 代理人: 吳彥峰;徐宏

1.壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，主要步驟是將籽晶放置在高壓釜內采用水熱溫差法培育水晶，然后再切割成水晶晶片，其特征在于：所述籽晶是聲表面波傳播方向角度、尺寸為2～6英寸的籽晶片，在所述高壓釜內，填充氫氧化鈉、碳酸鈉堿溶液，高壓釜的上部放籽晶，下部放溶解用的原料，溶液向上方對流移動，使晶體沿聲表面波傳播方向角度結晶，長成符合制備2～6英寸規格無籽晶聲表晶片的晶體塊，根據不同品種所需聲表晶片的厚度，通過線切割將晶體塊以籽晶基片為切割角度基準，按不同厚度進行切割加工，以獲得聲表面波傳播方向角度不同厚度的無籽晶聲表晶片；

所述高壓釜內設置有可拆卸的“Z”字形水晶塊生長工模夾具，用此工模夾具使籽晶生長成水晶塊。

2.如權利要求1所述壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，其特征在于：采用該方法制備的聲表晶片不含作為種子的籽晶。

3.如權利要求1所述壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，其特征在于：所述籽晶為聲表面波傳播方向角度的低腐蝕隧道密度的水晶基片。

4.如權利要求3所述壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，其特征在于：所述籽晶的聲表面波傳播方向角度的低腐蝕隧道密度為50條以內。

5.如權利要求1所述壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，其特征在于：所述水熱溫差法是五段自動控功式，即采用上部兩段，中、下部三段，控制其功率達到一致，以確保聲表晶塊的生長上下均勻一致，及生長的前、中、后期品質一致性。

6.如權利要求5所述壓電水晶無籽晶聲表晶片的制備方法，其特征在于：所述符合規格的晶體塊是指符合制作2英寸、3英寸、4英寸、6英寸規格的晶體塊。