[發明專利]用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡

無效

• 申請號: 200710049516.5
• 申請日: 2007-07-13
• 公開（公告）號: CN101140332A
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發明（設計）人: 李銘;張彬;戴亞平;范正修;王韜;黃偉
• 申請（專利權）人: 四川大學;上海激光等離子體研究所
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;H01S3/00
• 代理公司: 成都科海專利事務有限責任公司
• 代理人: 劉雙蘭;嚴禮華

1.一種用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，包括透明基板(1)，高反射膜系(2)，微浮雕結構(3)，外層保護層(4)，高反射膜系為高折射率膜層(5)與低折射率膜層(6)相互交替組成的多層介質膜系，高反射膜系的高折射率膜層與低折射率膜層均與微浮雕結構緊密搭界。

2.根據權利要求1所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述的高折射率膜層(5)與低折射率膜層(6)的厚度均為λ/4，或λ/4奇數倍厚度，或折射率漸變膜層厚度。

3.根據權利要求1所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述的微浮雕結構(3)可以是三角形，或多邊形，或棱角形，或方形，或圓形，或任意形狀構成的多種形態結構的衍射元件。

4.根據權利要求1或3所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述的微浮雕結構材質可以是微鏡高透射膜系介質，或空氣介質(7)，或玻璃微浮雕介質(8)，或其它透明介質如半導體介質(9)。

5.根據權利要求1或4所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述的微浮雕結構的微鏡高透射膜系，可以有多種結構，其標準的多層介質膜按低折射率膜層(6)與高折射率膜層(5)的順序周期交替組成。

6.根據權利要求1或2所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述高反射膜系(2)可以有多種結構，其標準的多層介質膜按高折射率膜層(5)與低折射率膜層(6)的順序周期交替組成。

7.根據權利要求1所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，透明基板(1)為對工作帶寬的波長透明的膜層依托板材，要求光學平整度且折射率盡量接近空氣，可用K9光學玻璃，或石英材料，也可由其他材料替代，如對紅外、近紅外透明的半導體材料。

8.根據權利要求1所述的用于啁啾脈沖放大光譜整形的介質膜結構反射鏡，其特征在于，所述的反射鏡可以是微鏡介質膜結構反射鏡的結構反射鏡。