[發明專利]一種化學機械拋光液有效
| 申請號： | 200710047468.6 | 申請日： | 2007-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN101418187A | 公開（公告）日： | 2009-04-29 |
| 發明（設計）人： | 宋偉紅;姚穎;陳國棟;包建鑫 | 申請（專利權）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/18;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203上海市浦東新區張江高科*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 機械拋光 | ||
1.一種化學機械拋光液，其特征在于含有：磨料、雙氧水、水和下述絡合劑中的一種或多種：5-巰基-3-氨基-1,2,4-三唑、4-氨基-1,2,4-三氮唑、草酸銨、四草酸鉀，2-吡啶甲酸，其中所述的絡合劑的含量為質量百分比0.1～5%，所述的雙氧水的含量為質量百分比0.1～10%。?
2.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述的絡合劑的含量為質量百分比0.2～3%。?
3.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述的磨料為SiO2或Al2O3。?
4.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述的磨料的含量為質量百分比0.1～20%。?
5.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述的的拋光液的pH值為1～7。?
6.如權利要求5所述的拋光液，其特征在于：所述的的拋光液的pH值為2～5。?
7.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述的化學機械拋光液還含有下述表面活性劑中的一種或多種：陽離子表面活性劑、和非離子型表面活性劑。?
8.如權利要求7所述的拋光液，其特征在于：所述的陽離子表面活性劑為季氨鹽型表面活性劑。?
9.如權利要求7所述的拋光液，其特征在于：所述的陽離子表面活性劑為分子量為2000～50000的聚乙烯亞胺；所述的非離子型表面活性劑為聚乙二醇。?
10.如權利要求8所述的拋光液，其特征在于：所述的季氨鹽型表面活性劑為十六烷基三甲基氯化銨。?
11.如權利要求7所述的拋光液，其特征在于：所述的表面活性劑的含量為質量比10～1000ppm。?
12.如權利要求11所述的拋光液，其特征在于：所述的表面活性劑的含量為質量比50～500ppm。?
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