[發明專利]一種高精度調整工裝及其調整方法

有效

• 申請號: 200710047235.6
• 申請日: 2007-10-19
• 公開（公告）號: CN101169976A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發明（設計）人: 吳榮基;袁志揚;陳慧
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種高精度調整工裝，其特征在于：它包括定位座(1)，懸臂(4)，支撐板(6)，直角連接塊(15)，豎直定位移動機構和豎直定位調平機構，水平定位移動機構和水平定位調平機構；所述直角連接塊(15)具有水平連接面(152)和豎直連接面(151)；所述定位座(1)安裝在懸臂(4)上端，所述支撐板(6)安裝在懸臂(4)下端，所述豎直定位調平機構安裝在支撐板(6)上，所述豎直定位移動機構安裝在豎直定位調平機構上，所述水平定位移動機構安裝在水平定位調平機構上，所述水平定位調平機構和豎直定位移動機構分別安裝在直角連接塊15的水平連接面(152)和豎直連接面(151)上。

2.如權利要求1所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述定位座(1)具有安裝面(012)和定位面(011)，緊固件通過所述安裝面(012)將定位座(1)安裝在懸臂(4)上端。

3.如權利要求2所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述緊固件為四個內六角圓柱頭螺釘(2)。

4.如權利要求1所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述豎直定位移動機構包括豎直調整塊(9)，定位銷(10)，豎直調整螺絲(11)，所述定位銷(10)安裝在豎直調整塊(9)上，所述豎直調整螺絲(11)安裝在豎直調整塊(9)上。

5.如權利要求4所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述定位銷(10)為兩個，所述豎直調整塊(9)上安裝定位銷(10)的地方對應開有導軌槽。

6.如權利要求4所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述豎直調整塊(9)通過緊固件安裝在直角連接塊(15)的豎直連接面(151)上。

7.如權利要求6所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述緊固件為四個內六角圓柱頭螺釘(16)，所述內六角圓柱頭螺釘(16)通過直角連接塊(15)的豎直連接面(151)安裝于豎直調整塊(9)。

8.如權利要求1所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述的水平定位移動機構包括水平調整塊(19)，定位銷(17)，水平調整螺絲(20)，定位塊(21)；所述定位銷(17)和水平調整螺絲(20)安裝在水平調整塊(19)上，所述定位塊(21)安裝在水平調整塊(19)上。

9.如權利要求8所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述定位銷(17)為兩個，所述水平調整塊(19)上安裝定位銷(17)的地方對應開有導軌槽。

10.如權利要求8所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述定位塊(21)具有水平定位面(211)和豎直定位面(212)，緊固件通過水平定位面(211)將定位塊(21)安裝在水平調整塊(19)上。

11.如權利要求10所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述緊固件為四個內六角圓柱頭螺釘(22)。

12.如權利要求4或8所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述豎直調整螺絲或水平調整螺絲也可換成具有千份尺的滾珠滑臺。

13.如權利要求1所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述豎直定位調平機構包括：豎直調整塊(9)，緊固件；所述豎直調整塊(9)通過緊固件安裝在支撐板上。

14.如權利要求13所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述緊固件包括：三個內六角圓柱頭螺釘(12)，三個鎖緊螺母和三個內六角圓柱螺母；所述三個內六角圓柱頭螺釘(12)依次連接豎直調整塊(9)、鎖緊螺母(8)以及六角薄螺母后安裝在支撐板(6)上。

15.如權利要求1所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述水平定位調平機構包括：水平調整塊(19)，緊固件；所述水平調整塊(19)通過緊固件安裝在直角連接塊(15)的水平連接面(152)上。

16.如權利要求15所述的高精度調整工裝，其特征在于：所述緊固件包括：三個內六角圓柱頭螺釘(14)、三個緊鎖螺母(18)、三個六角薄螺母(13)；所述三個內六角圓柱頭螺釘(14)依次連接水平調整塊(19)、緊鎖螺母(18)以及六角薄螺母(13)后安裝在直角連接塊(15)的水平連接面(152)上。