[發(fā)明專利]用于化學機械研磨的噴頭臂及其控制裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710047119.4 | 申請日： | 2007-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN101412200A | 公開（公告）日： | 2009-04-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳肖科 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B55/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陸 嘉 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 機械 研磨 噴頭 及其 控制 裝置 | ||
1.一種用于化學機械研磨的噴頭臂控制裝置，控制一噴頭臂，其特征在于，該控制裝置包括：
具有編碼器的步進電機，該步進電機驅動該噴頭臂在一定范圍內移動；
電源模塊，為所述步進電機提供電力；
電機驅動器，連接到一控制計算機，還連接到所述步進電機的編碼器，其中，所述電機驅動器根據(jù)控制計算機的指令，通過所述編碼器控制所述步進電機，使得所述噴頭臂移動到希望的位置。
2.如權利要求1所述的用于化學機械研磨的噴頭臂控制裝置，其特征在于，還包括：
位置感應器，監(jiān)測所述噴頭臂移動的范圍。
3.如權利要求2所述的用于化學機械研磨的噴頭臂控制裝置，其特征在于，
所述步進電機位于所述噴頭臂的靠下部位；
所述位置感應器位于所述噴頭臂的靠上部位。
4.如權利要求1至3中任一項所述的用于化學機械研磨的噴頭臂控制裝置，其特征在于，
所述噴頭臂的流體輸送管道位于所述噴頭臂的外側邊緣。
5.一種用于化學機械研磨的噴頭臂，支撐一組噴頭，其特征在于，包括：
流體輸送管道，輸送流體至所述噴頭并有所述噴頭進行噴灑；
控制裝置，該控制裝置包括：
具有編碼器的步進電機，該步進電機驅動該噴頭臂在一定范圍內移動；
電源模塊，為所述步進電機提供電力；
電機驅動器，連接到一控制計算機，還連接到所述步進電機的編碼器，其中，所述電機驅動器根據(jù)控制計算機的指令，通過所述編碼器控制所述步進電機，使得所述噴頭臂移動到希望的位置。
6.如權利要求5所述的用于化學機械研磨的噴頭臂，其特征在于，該控制裝置還包括：
位置感應器，監(jiān)測所述噴頭臂移動的范圍。
7.如權利要求6所述的用于化學機械研磨的噴頭臂，其特征在于，
所述步進電機位于所述噴頭臂的靠下部位；
所述位置感應器位于所述噴頭臂的靠上部位。
8.如權利要求1至3中任一項所述的用于化學機械研磨的噴頭臂，其特征在于，
所述流體輸送管道位于所述噴頭臂的外側邊緣。
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