[發明專利]一種爐管干式清洗方法有效
| 申請號： | 200710046836.5 | 申請日： | 2007-10-09 |
| 公開（公告）號： | CN101406891A | 公開（公告）日： | 2009-04-15 |
| 發明（設計）人： | 任瑞龍;何華忠;劉曉林;俞小豐 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027;B08B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 爐管 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種爐管干式清洗方法，所述爐管被用于執行薄膜沉積制程，所述的薄膜沉積是摻雜砷的多晶硅薄膜沉積，其特征在于，所述方法包括下列步驟：
(1)在620～525攝氏度的第一設定溫度下對爐管進行抽真空；
(2)在保持爐管真空的情況下將爐管內的溫度降低至第二設定溫度，該第二設定溫度的范圍是400±5攝氏度；
(3)向爐管內通入反應氣體。
2.根據權利要求1所述的爐管干式清洗方法，其特征在于，該第一設定溫度為525攝氏度。
3.根據權利要求1所述的爐管干式清洗方法，其特征在于，該第二設定溫度為400攝氏度。
4.根據權利要求1所述的爐管干式清洗方法，其特征在于，步驟(2)中，以1.5攝氏度/分鐘的速率進行降溫。
5.根據權利要求1所述的爐管干式清洗方法，其特征在于，所述的反應氣體是三氟化氯。
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