[發(fā)明專利]激光切割熔絲方法及其測試結(jié)構(gòu)和方法、測試晶圓

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710046486.2
• 申請日: 2007-09-26
• 公開（公告）號: CN101399253A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 章鳴;郭志蓉;季春葵;蘇鳳蓮
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L21/66;H01L21/768;G01R31/07
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：第一熔絲和第二熔絲，第一熔絲、第二熔絲間隔排列，第一熔絲電性連接形成串聯(lián)熔絲鏈，第一熔絲、第二熔絲電性連接形成并聯(lián)熔絲鏈，所述測試結(jié)構(gòu)的各熔絲的間距相等，所述第一熔絲形成的串聯(lián)熔絲鏈為迂回曲折結(jié)構(gòu)的串聯(lián)熔絲鏈，所述第二熔絲電性連接形成兩條梳狀結(jié)構(gòu)的熔絲鏈，所述第一熔絲、第二熔絲形成的并聯(lián)熔絲鏈包括兩條并聯(lián)熔絲鏈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：分別電性連接所述串聯(lián)熔絲鏈兩端的第一電極墊、第二電極墊，將兩條并聯(lián)熔絲鏈電性連接在一起的第三電極墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：分別電性連接所述串聯(lián)熔絲鏈兩端的第一電極墊、第二電極墊，分別與兩條并聯(lián)熔絲鏈沒有連接第一電極墊、第二電極墊的一端電性連接的第三電極墊、第四電極墊。

4.一種激光切割熔絲的測試方法，其特征在于，包括：

提供激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)，所述測試結(jié)構(gòu)包括第一熔絲和第二熔絲，第一熔絲、第二熔絲間隔排列，第一熔絲電性連接形成串聯(lián)熔絲鏈，第一熔絲、第二熔絲電性連接形成并聯(lián)熔絲鏈，所述測試結(jié)構(gòu)的各熔絲的間距相等，所述測試結(jié)構(gòu)的第一熔絲形成的串聯(lián)熔絲鏈為迂回曲折結(jié)構(gòu)的串聯(lián)熔絲鏈，所述第二熔絲電性連接形成兩條梳狀結(jié)構(gòu)的熔絲鏈，所述第一熔絲、第二熔絲形成的并聯(lián)熔絲鏈包括兩條并聯(lián)熔絲鏈；

采用激光對所述并聯(lián)熔絲鏈的第二熔絲進(jìn)行切割；

在并聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓，測量并聯(lián)熔絲鏈的兩端的電流，若測量到電流，則判定并聯(lián)熔絲鏈中有第二熔絲沒有被完全切割開；

在串聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓，測量串聯(lián)熔絲鏈的兩端的電流，若沒有測量到電流或測量到有漏電流，則判定串聯(lián)熔絲鏈中有第一熔絲被誤切割到。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光切割熔絲的測試方法，其特征在于，所述提供激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)是在晶圓的分割區(qū)域放置所述的測試結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光切割熔絲的測試方法，其特征在于，所述測試結(jié)構(gòu)還包括分別電性連接所述串聯(lián)熔絲鏈兩端的第一電極墊、第二電極墊，將兩條并聯(lián)熔絲鏈電性連接在一起的第三電極墊，所述在并聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓是在第一電極墊、第三電極墊加電壓或在第二電極墊、第三電極墊加電壓；所述在串聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓是在第一電極墊、第二電極墊加電壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光切割熔絲的測試方法，其特征在于，所述測試結(jié)構(gòu)還包括分別電性連接所述串聯(lián)熔絲鏈兩端的第一電極墊、第二電極墊，分別與兩條并聯(lián)熔絲鏈沒有連接第一電極墊、第二電極墊的一端電性連接的第三電極墊、第四電極墊，所述在并聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓是在第一電極墊、第三電極墊加電壓或在第二電極墊、第三電極墊加電壓，以及在第一電極墊、第四電極墊加電壓或在第二電極墊、第四電極墊加電壓；所述在串聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓是在第一電極墊、第二電極墊加電壓。

8.一種激光切割熔絲的方法，其特征在于，包括下述步驟：

提供激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)，所述測試結(jié)構(gòu)包括第一熔絲和第二熔絲，第一熔絲、第二熔絲間隔排列，第一熔絲電性連接形成串聯(lián)熔絲鏈，第一熔絲、第二熔絲電性連接形成并聯(lián)熔絲鏈，所述測試結(jié)構(gòu)的各熔絲的間距相等，所述測試結(jié)構(gòu)的第一熔絲形成的串聯(lián)熔絲鏈為迂回曲折結(jié)構(gòu)的串聯(lián)熔絲鏈，所述第二熔絲電性連接形成兩條梳狀結(jié)構(gòu)的熔絲鏈，所述第一熔絲、第二熔絲形成的并聯(lián)熔絲鏈包括兩條并聯(lián)熔絲鏈；

采用激光對所述并聯(lián)熔絲鏈的第二熔絲進(jìn)行切割；

在并聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓，測量并聯(lián)熔絲鏈的兩端的電流，若測量到電流，則判定并聯(lián)熔絲鏈中有第二熔絲沒有被完全切割開，調(diào)整激光器的參數(shù)；

在串聯(lián)熔絲鏈的兩端加電壓，測量串聯(lián)熔絲鏈的兩端的電流，若沒有測量到電流或測量到有漏電流，則判定串聯(lián)熔絲鏈中有第一熔絲被誤切割到，調(diào)整激光器的參數(shù)；

采用激光對芯片上選定的熔絲進(jìn)行切割。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光切割熔絲的方法，其特征在于，所述提供激光切割熔絲的測試結(jié)構(gòu)是在晶圓的分割區(qū)域放置所述的測試結(jié)構(gòu)。