[發(fā)明專利]漸變反射率鏡的鍍膜裝置及鍍膜方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710046248.1
• 申請日: 2007-09-21
• 公開（公告）號: CN101122640A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂國暖;易葵;曾維強;王善成
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: G02B1/10
• 分類號: G02B1/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種用于電子槍蒸發(fā)鍍膜機的鍍制漸變反射率鏡的鍍膜裝置，包括安裝架(11)，其特征在于該安裝架(11)與一水平基板(15)固定相連，在該基板(15)之上通過支撐桿(18)連接一水平電機安裝板(6)，該電機安裝板(6)上設(shè)有第一步進電機(9)和第二步進電機(14)，所述的第一步進電機(9)和第二步進電機(14)通過第一彈性聯(lián)軸器(28)和第二彈性聯(lián)軸器(27)分別與擋板安裝盤旋轉(zhuǎn)軸(16)和基片旋轉(zhuǎn)軸(17)連接，所述的基片旋轉(zhuǎn)軸(17)和擋板安裝盤旋轉(zhuǎn)軸(16)通過軸承分別安裝在所述的基板(15)上，所述的基片旋轉(zhuǎn)軸(17)和擋板安裝盤旋轉(zhuǎn)軸(16)的下端分別與夾具支架(7)和擋板安裝盤(13)連接，所述的夾具支架(7)與供待鍍膜的基片放置的基片夾具(12)連接，所述的擋板安裝盤(13)設(shè)置了尺寸相同的第一圓孔(20)和第二圓孔(21)，第一圓孔(20)用于安裝鍍制變化厚度層的擋板(26)，第二圓孔(21)不安裝擋板，所述的擋板安裝盤(13)的邊緣上還設(shè)置了第一小圓孔(22)和第二小圓孔(23)，所述的第一小圓孔(22)與第一圓孔(20)的圓心在該擋板安裝盤(13)的同一直徑上，第二小圓孔(23)的圓心和第二圓孔(21)的圓心在該擋板安裝盤(13)的另一直徑上，該兩直徑相互垂直；

所述的基板(15)的下方的一側(cè)固定一側(cè)板(10)，所述的側(cè)板(10)的內(nèi)側(cè)安裝一光電開關(guān)支架(8)，所述的光電開關(guān)支架(8)上安裝一凹槽式光電開關(guān)(19)，當(dāng)所述的擋板安裝盤(13)被第一步進電機(9)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)時，所述的第一小圓孔(22)或第二小圓孔(23)旋轉(zhuǎn)至所述的光電開關(guān)(19)的凹槽時，所述的光電開關(guān)(19)將通過所述的第一小圓孔(22)或第二小圓孔(23)發(fā)出定位信號，使所述的擋板安裝盤(13)定位不動；

所述的鍍制變化厚度層的擋板(26)的通孔具有特定的形狀，由所鍍制的漸變反射率鏡的設(shè)計決定；

所述的第二步進電機(14)和第一步進電機(9)通過真空室內(nèi)的信號接口與室外的步進電機驅(qū)動器(24)連接，該步進電機驅(qū)動器(24)與控制器(25)相連，所述的光電開關(guān)(19)與控制器(25)相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漸變反射率鏡的鍍膜裝置，其特征在于所述的安裝架(11)的結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有夾具安裝架(3)相同。

3.一種利用權(quán)利要求1所述的漸變反射率鏡的鍍膜裝置進行鍍膜的方法，其特征在于包括下列步驟：

①利用計算機程序設(shè)計并制作所述的鍍制變化厚度層的擋板(26)；

②將所述的擋板(26)放置在所述的擋板安裝盤(13)的第一圓孔(20)中，所述的待鍍膜基片置于所述的基片夾具(12)里，將所述的漸變反射率鏡的鍍膜裝置的安裝架(11)安裝在所述的電子槍蒸發(fā)鍍膜機的真空室的夾具安裝架(3)的位置；

③啟動所述的步進電機驅(qū)動器(24)和控制器(25)的電源，通過控制器(25)控制所述的步進電機驅(qū)動器(24)，驅(qū)動第一步進電機(9)，使擋板安裝盤(13)的第二圓孔(21)轉(zhuǎn)至所述的待鍍膜基片的正下方，這時所述的光電開關(guān)(19)通過所述的第二小圓孔(23)發(fā)出定位信號，令所述的擋板安裝盤(13)定位不動，關(guān)閉真空室門并開始抽真空；

④在鍍膜開始后，通過控制器(25)控制所述的步進電機驅(qū)動器(24)驅(qū)動第二步進電機(14)勻速轉(zhuǎn)動，帶動基片夾具(12)里的待鍍膜基片作勻速轉(zhuǎn)動，按常規(guī)方法首先鍍制所需的均勻厚度膜層；

⑤鍍制中間非均勻厚度膜層：所述的控制器(25)通過步進電機驅(qū)動器(24)驅(qū)動第一步進電機(9)帶動擋板安裝盤(13)沿順時針方向緩慢旋轉(zhuǎn)，直至所述的擋板(26)旋轉(zhuǎn)至基片夾具(12)讓所述的待鍍膜基片正下方，這時第一小圓孔(22)恰好通過光電開關(guān)(19)的凹槽，光電開關(guān)(19)發(fā)出信號并令擋板安裝盤(13)停止轉(zhuǎn)動并鎖定，在通過控制器(25)驅(qū)動第二步進電機(14)勻速轉(zhuǎn)動，帶動基片夾具(12)讓所述的待鍍膜基片作勻速轉(zhuǎn)動，鍍制非均勻厚度膜層；

⑥鍍制其余的均勻厚度膜層：所述的控制器(25)控制步進電機驅(qū)動器(24)驅(qū)動第一步進電機(9)帶動擋板安裝盤(13)沿逆時針方向緩慢旋轉(zhuǎn)，直至第二圓孔(21)轉(zhuǎn)至所述的待鍍膜基片正下方，這時光電開關(guān)(19)發(fā)出信號令擋板安裝盤(13)鎖定，再按常規(guī)方法鍍制其余的所需的均勻厚度膜層；

⑦完成基片鍍膜后，按常規(guī)從真空室中取出并處理已鍍膜基片。