[發(fā)明專利]一種非對稱透射標記組合及其對準方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710046061.1
• 申請日: 2007-09-17
• 公開（公告）號: CN101149565A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李煥煬;宋海軍;陳勇輝;周暢
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種非對稱透射標記組合，分布在掩模板和工件臺基準板上，其特征在于：所述的非對稱透射標記組合包括五個對準標記分支，其中，第一和第二對準標記分支分布在所述掩模板上，第三、第四和第五對準標記分支分布在所述工件臺基準板上，且第三和第五對準標記分支分布在第四對準標記分支的兩對邊；第一和第五對準標記分支分別由一組以上方向相同的光柵構(gòu)成，第二和第三對準標記分支分別由一組以上與第一和第五對準標記分支中光柵方向垂直的光柵構(gòu)成，第四對準標記分支為方形透射孔。

2.如權(quán)利要求1所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：所述掩模板上的第一和第二對準標記分支經(jīng)過一投影系統(tǒng)所成的空間像分別與所述工件臺基準板上的第五和第三對準標記分支相對應(yīng)。

3.如權(quán)利要求2所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：所述第二對準標記分支中光柵的長度是第三對準標記分支中光柵長度的4倍、6倍、8倍、10倍、12倍中的一種，所述第一對準標記分支中光柵的長度是第五對準標記分支中光柵長度的4倍、6倍、8倍、10倍、12倍、16倍、20倍、24倍、32倍、40倍、48倍中的一種。

4.如權(quán)利要求3所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：所述第一對準標記分支經(jīng)過一投影系統(tǒng)所成的空間像，沿其光柵方向的長度比第五對準標記分支的光柵長。

5.如權(quán)利要求1所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：所述第一、第二、第三和第五對準標記分支中的光柵被細分為三個細小柵。

6.如權(quán)利要求5所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：所述第一和第五對準標記分支以及第二和第三對準標記分支中的光柵結(jié)構(gòu)的占空比根據(jù)對準信號調(diào)制和測量要求確定。

7.如權(quán)利要求1所述的非對稱透射標記組合，其特征在于：采用工件臺基準板上的對準標記分支對掩模板上的對準標記分支經(jīng)過一投影系統(tǒng)所成的空間像進行掃描，在用第三和第五對準標記分支分別對第二和第一對準標記分支進行對準掃描時，在對應(yīng)的掃描范圍內(nèi)，所述第四對準標記分支所接收到的第一對準標記分支的空間成像信息與對準空間掃描中的水平方向位置無關(guān)，而與對準照射光源的光功率密度和對準空間掃描中的垂直方向位置有關(guān)。