[發明專利]一種精密提升裝置

無效

• 申請號: 200710045581.0
• 申請日: 2007-09-04
• 公開（公告）號: CN101164859A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: 肖可云;袁志揚;嚴天宏
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: B66F7/06
• 分類號: B66F7/06;B66F7/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅

1.一種精密提升裝置，包括承載板(4)，提升機構(6)，上面板(601)，下面板(602)，驅動裝置(19)，其特征在于，所述的提升機構(6)由兩個以上的提升單元并聯組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，所述的驅動裝置(19)裝配在所述的鉸鏈連接處。

2.如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括一個固定裝置，固定在下面板(602)上。

3.如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括一個滾動裝置，固定在下面板(602)上。

4.權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括一個高度限位機構，固定在承載板(4)的一端。

5.如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限位機構包括：彈簧(23)、螺母(25)、螺桿(26)，其中彈簧(23)和螺母(25)套在螺桿(26)上，螺母(25)在彈簧(23)的上部。

6.如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述高度限位機構的螺桿(26)的頂部安裝有橡膠端蓋(27)。

7.如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限位機構中，橡膠端蓋(27)的頂面高于待安裝部件的上部安裝面。

8.如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限位機構的螺桿(26)頂端安裝有一個接近開關。

9.如權利要求2所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的固定裝置為真空吸附機構或者螺栓連接固定裝置。

10.如權利要求9所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的真空吸附機構包括：氣管(8)、彈簧(11)、滑桿(12)、吸附墊(13)、氣管(28)，其中，吸附墊(13)安裝在滑桿(12)的一端，彈簧(11)套在滑桿(12)上，滑桿(12)固定在下面板(602)上，第一氣管(8)和第二氣管(28)與滑桿(12)的另一端相連。

11.如權利要求1所述地一種精密提升裝置，其特征在于，所述的驅動裝置(19)可以是手輪或者電動驅動裝置。

12.如權利要求3所述的一種精密提升裝置，其特征在于所述的滾動裝置可以是鋼珠滾輪機構(16)或者萬向腳輪裝置。