[發明專利]一種用于紅外焦平面器件的復合銦柱及制備方法有效
| 申請號： | 200710045148.7 | 申請日： | 2007-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN101118886A | 公開（公告）日： | 2008-02-06 |
| 發明（設計）人： | 朱建妹 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | H01L23/485 | 分類號： | H01L23/485;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 紅外 平面 器件 復合 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于紅外焦平面器件的復合銦柱的制備方法，其特征在于具體步驟如下：
§a.在芯片(1)上涂布光刻膠層(2)，其厚度由銦柱體所需要的高度而定；
§b.在光刻膠層上，在芯片的信號引入引出點位置刻出淀積復合銦柱的陣列孔(3)，孔徑由所需要銦柱體的直經而定，孔的深度為光刻膠層的厚度；
§c.然后熱蒸發淀積黃金，在孔內壁形成厚度為黃金層(4)；
§d.然后再真空蒸發淀積銦層(5)，部分銦自然填入由黃金層為內壁的孔內，由于填充的是熱銦源，對黃金壁產生合金作用，從而形成由黃金層包覆，內填滿銦構成的復合銦柱(8)；
§e.最后用壓敏粘結劑黏附剝離多余銦層，在芯片上形成復合銦柱陣列。
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