[發明專利]移相橫向剪切干涉儀

無效

• 申請號: 200710045147.2
• 申請日: 2007-08-22
• 公開（公告）號: CN101113927A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 王利娟;劉立人;孫建鋒;周煜
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02;G01B9/02;G02B7/18
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種移相橫向剪切干涉儀，其特征在于由第一起偏器(1)、輸入平行平板(2)、第二起偏器(3)、第三起偏器(4)、第一剪切平板(5)、第二剪切平板(6)、輸出平行平板(7)、四分之一波片(8)、檢偏器(9)、CCD相機(10)和計算機(11)組成，其位置關系如下：

第一起偏器(1)處于輸入平行平板(2)的一側且在其入射光路中，入射光束與所述的輸入平行平板(2)成45°，所述的輸出平行平板(7)與所述的輸入平行平板(2)的材料與厚度相同且平行放置，在所述的輸入平行平板(2)和輸出平行平板(7)之間，在所述的輸入平行平板(2)的第一介質面(21)的反射光路中設置第二起偏器(3)和第一剪切平板(5)，在所述的輸入平行平板(2)的第二介質面(22)的反射光路中設置第三起偏器(4)和第二剪切平板(6)，所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)傾斜方向相反地對稱放置，該第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)具有繞公共軸同時進行反向旋轉的機構，所述的第二起偏器(3)和第三起偏器(4)的材料與厚度相同，在所述的輸出平行平板(7)的出射光路中依次是四分之一波片(8)、檢偏器(9)和CCD相機(10)，該CCD相機(10)的輸出端與所述計算機(11)的輸入端相連。

2.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的第一起偏器(1)具有連續改變其透光軸方向的旋轉機構，所述的檢偏器(9)具有連續改變其透光軸方向的旋轉機構。

3.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的輸入平行平板(2)的入射面處于水平面內，所述的第二起偏器(3)和第三起偏器(4)的透光軸相互垂直，且與輸入平行平板(2)的入射面平行或者垂直，所述的四分之一波片(8)的快軸方向與水平面成45°。

4.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)為光學平行平板，所述的第一剪切平板和第二剪切平板若是光學平行平板，則它們的光學材料和厚度相同。

5.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)為光學楔形平板，則它們的光學材料、厚度與楔角相同，所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)的傾斜方向相反。

6.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的第一起偏器(1)、第二起偏器(3)、第三起偏器(4)和檢偏器(9)是偏光棱鏡，或者偏振片，或者其它線偏振光產生器。

7.根據權利要求1所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的四分之一波片(8)是雙折射晶體波片，或者棱體型相位延遲器。

8.根據權利要求1至7任一項所述的移相橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的計算機(11)為具有移相剪切干涉條紋處理軟件的計算機。