[發明專利]延伸靜態膨脹法真空標準裝置校準下限的方法

無效

• 申請號: 200710044871.3
• 申請日: 2007-08-15
• 公開（公告）號: CN101109690A
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發明（設計）人: 李得天;徐婕;趙光平;郭美如;孫海
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一零研究所
• 主分類號: G01N15/08
• 分類號: G01N15/08;G01N7/10
• 代理公司: 上海藍迪專利事務所
• 代理人: 徐筱梅

1.一種延伸靜態膨脹法真空標準裝置校準下限的方法，其裝置包括高真空校準室(11)、低真空校準室(7)、小容器(5)和(9)、壓力計(2)和(16)、隔斷閥(3)、(4)、(6)、(8)、(10)和(12)、抽氣機組(1)和(15)，抽氣機組(1)通過隔斷閥(3)與低真空校準室(7)連接，低真空校準室(7)通過隔斷閥(6)與小容器(5)連接，低真空校準室(7)通過隔斷閥(8)與小容器(9)連接，小容器(5)通過隔斷閥(4)與壓力計(2)連接，小容器(9)通過隔斷閥(10)與高真空校準室(11)連接，抽氣機組(15)通過隔斷閥(12)與高真空校準室(11)連接，高真空校準室(11)上接壓力計(16)，其特征在于所述高真空校準室(11)通過超高真空角閥(13)連接有非蒸散型吸氣劑泵(14)；其延伸上述裝置校準下限的方法包括下列步驟：

a、啟動抽氣機組(1)、(15)，從裝置中抽出氣體；

b、對高真空校準室(11)、低真空校準室(7)、小容器(5)、(9)進行烘烤除氣，烘烤溫度以均勻速率逐漸升至200℃后，保溫48小時，然后再以均勻速率逐漸降至室溫；

c、在烘烤最高溫度保持期間，打開超高真空角閥(13)，對非蒸散型吸氣劑泵(4)進行激活，激活2小時后停止，并關閉隔斷閥(10)，繼續抽氣，直至壓力計(16)顯示高真空校準室(11)內達到10^-8Pa數量級的超高真空；

d、將校準氣體引入到小容器(5)、(9)中，并利用壓力計(2)測量小容器(5)內氣體壓力，計算出低真空校準室(7)或高真空校準室(11)的壓力；

e、在1×10^-6Pa～1×10^-3Pa范圍內校準時，打開非蒸散型吸氣劑泵(14)及超高真空角閥(13)，在大于1×10^-3Pa范圍內校準時，關閉非蒸散型吸氣劑泵(14)及超高真空角閥(13)。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于所述抽氣機組(1)和(15)，其主泵為渦輪分子泵，前級泵為機械泵。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于校準氣體為惰性氣體。