[發明專利]一種電阻測試方法

有效

• 申請號: 200710044693.4
• 申請日: 2007-08-08
• 公開（公告）號: CN101363881A
• 公開（公告）日: 2009-02-11
• 發明（設計）人: 許松;馬瑾怡
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R27/08
• 分類號: G01R27/08
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 樓仙英

技術領域

本發明涉及一種測試方法，特別涉及一種電阻測試方法。

背景技術

在電子產品、特別是集成電路的的制造過程中，往往需要對電阻 進行測試。現有技術的電阻測試方法通常有兩端電阻測試方法和三端 電阻測試方法兩種。

兩端電阻測試方法，使用如圖1所示的兩端測試結構，所述兩端 測試結構，包括電阻13，和分別位于電阻13兩端的首測試端11和 尾測試端12。通過探針在首測試端11與尾測試端12施加電壓，測 量兩測試端間的電流值，或者通過探針筆在兩測試端間施加測試電 流，并測量兩測試端的電壓差。

通過歐姆定律，R＝U/I，即可得到所述首測試端11和尾測試端 12間的電阻13的電阻值。

但是，所述兩端電阻測試方法，存在以下問題：

如圖2所示，實際測試過程中通過探針探測到的是加在首測試端 的探針14和加在尾測試端12的探針15之間的電壓值和兩探針間的 電流值。

因此，如圖3所示，通過兩端電阻測試法所測得的測量電阻Rm0 是探針14和探針15間的電阻，該電阻Rm0是由首測試端11與尾測 試端12之間固有的結構電阻Rs0和探針14與首測試端11的首接觸 電阻Rc01和探針15與尾測試端12的尾接觸電阻Rc02構成。

當接觸電阻Rc01與接觸電阻Rc02可以忽略的時候，則所測得的 測量電阻Rm0近似等于首測試端11與尾測試端12間的固有電阻， 即結構電阻Rs0。

但是，實際的測量過程中，接觸電阻阻值大小與被測電阻的結構 電阻阻值相比往往是不可忽略的。

因此，采用兩端電阻測量法所測得的被測電阻的電阻值并不是真 實的被測對象的結構電阻電阻值，而是該被測對象的結構電阻的電阻 值與接觸電阻的電阻值的和。

由于接觸電阻無法準確地測得，因此，所述的被測電阻的結構電 阻的阻值也無法準確測得。

而且由于每次測試時的探針與測試端的接觸情況不同，例如探針 扎在測試端的深淺不同、探針彎曲造成的與測試端的接觸面積不同等 造成的接觸電阻不同，使得每次實際測得的電阻值會在一定范圍內波 動。

特別是在高精度的集成電路的圓片級電性測試中，常常使用探針 卡進行探測，由于集成電路的阻值相對較小，因此，探針接觸電阻 (probe?contact?resistance，PCR)往往是不可忽略的。此時，探針卡上 的探針的接觸情況直接影響了測試結果的準確性。

如果需要得到精確的被測電阻的結構電阻，則需要額外測得探針 與測試端得接觸電阻的電阻值。

針對這種情況，現有技術又提出了一種三端電阻測試法以得到接 觸電阻的電阻值。

所述三端電阻測試方法，使用一三端測試結構測量。如圖4所示， 所述三端測試結構包括位于被測電阻兩端的第一測試端A和第三測 試端C，以及位于被測電阻中部的的第二測試端B。

所述三端電阻測試方法，包含以下步驟：

步驟一：在第一測試端A與第二測試端B上，通過探針使用上 述的兩端電阻測試法探測第一測試端A與第二測試端B的電阻。同 理，所測得的第一測試電阻Rm1是第一測試端A與第二測試端B之 間結構電阻Rs1和探針21與第一測試端A的接觸電阻Rc1和探針22 與第二測試端B的接觸電阻Rc2的和。

步驟二：在第二測試端B與第三測試端C上，通過探針使用上 述的兩端電阻測試法探測第二測試端B與第三測試端C的電阻。同 理，所測得的第二測試電阻Rm2是第二測試端B與第三測試端C之 間結構電阻Rs2和探針22與第二測試端B的接觸電阻Rc2和探針23 與第三測試端C的接觸電阻Rc3的和。

步驟三：在第一測試端A與第三測試端C上，通過探針使用上 述的兩端電阻測試法探測第三測試端A與第三測試端C的電阻。同 理，所測得的第三測試電阻Rm3是第一測試端A與第三測試端C之 間結構電阻Rs和探針21與第一測試端A的接觸電阻Rc1和探針23 與第三測試端C的接觸電阻Rc3的和。

綜上所述：Rm1＝Rc1+Rs1+Rc2；

??????????Rm2＝Rc2+Rs2+Rc3；

??????????Rm3＝Rc1+Rs+Rc3；