[發明專利]一種有機廢水回收利用裝置

有效

• 申請號: 200710044554.1
• 申請日: 2007-08-03
• 公開（公告）號: CN101357811A
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發明（設計）人: 張元俊;厲曉華;馬霞萍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C02F9/14
• 分類號: C02F9/14;C02F1/66;C02F3/08
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及廢水處理裝置，尤其涉及一種有機廢水回收利用裝置。

背景技術

在半導體制造領域，諸多工序排出的廢水中所含的化學物質種類確定，例如化學機械研磨(CMP)后排放下來的廢水中主要含異丙醇(IPA)和檸檬酸，現對該些含異丙醇和檸檬酸的有機廢水處理方式是直接將其排放至工廠中用于處理有機廢水的處理裝置，該處理裝置會將該含異丙醇和檸檬酸的有機廢水和含有其他成分的有機廢水一并處理，但該些處理過的廢水中所含的成分復雜無法回收利用，只能將其排放至自然水體中。但是，在半導體制造工廠中，很多工序例如進行冷卻工藝的冷卻塔，其對水的要求不是很高，但現工廠中的冷卻塔還是使用較純凈的自來水或去離子水進行冷卻。

如此，一方面存在著進行簡單處理后就可回收利用的有機廢水被白白浪費掉，另一方面無需使用自來水或去離子水的工序因無低等級水而使用自來水或去離子水的現象，因此工廠的用水成本會大大增加。

因此，如何提供一種有機廢水回收利用裝置以將有機廢水處理后供其他用水單元回收利用，已成為半導體行業內亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種有機廢水回收利用裝置，通過所述處理裝置可將該有機廢水處理后供其他用水單元回收利用，可大大節約成本。

本發明的目的是這樣實現的：一種有機廢水回收利用裝置，用于將有機廢水的化學需氧量處理為不高于回收利用預設標準后供其他用水單元回收利用，該處理裝置包括相互連接且分別用于收集有機廢水的收集槽、用于將有機廢水的PH值調節到一適于微生物生長的PH值預設范圍的PH值調整槽、用于通過生物接觸氧化法將廢水中的有機物降解的接觸氧化池、用于將廢水中的懸浮物沉淀的沉淀槽、用于存儲經沉淀槽沉淀后的廢水的緩沖槽、用于將緩沖槽中所存儲的廢水進行過濾的過濾單元以及用于存儲經過濾單元過濾后的廢水的產水槽。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該PH調整槽中設置有PH值偵測單元、堿性加藥單元和依據PH值偵測單元所偵測到的PH值驅動堿性加藥單元加藥以將廢水的PH值調整至PH值預設范圍內的調整槽控制單元。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該PH值預設范圍為7至8。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該產水槽中設置有化學需氧量偵測單元、直排驅動單元、回流驅動單元和排放控制單元，其中，該化學需氧量偵測單元用于偵測產水槽中的化學需氧量，該直排驅動單元和該回流驅動單元分別用于驅動產水槽中的廢水排放至其他用水單元和收集槽，當化學需氧量偵測單元偵測到化學需氧量未超過該回收利用預設標準時，該排放控制單元控制直排驅動單元驅動產水槽中的廢水至其他用水單元，當化學需氧量偵測單元偵測到化學需氧量超過該回收利用預設標準時，該排放控制單元控制回流驅動單元驅動產水槽中的廢水至收集槽。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該產水槽中還設置有消毒加藥單元，當化學需氧量偵測單元偵測到化學需氧量未超過該回收利用預設標準時，該排放控制單元還控制消毒加藥單元向產水槽添加預設劑量的消毒劑。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該收集槽的有機廢水通過一收集槽驅動裝置驅動至PH值調整槽。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該PH值調整槽中的廢水通過溢流方式排放至接觸氧化池。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該接觸氧化池中的廢水通過溢流方式排放至沉淀槽。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該緩沖槽中的有機廢水通過一緩沖槽驅動裝置驅動至過濾單元。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該其他用水單元為冷卻塔或洗滌塔。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該過濾單元為砂濾塔。

在上述的有機廢水回收利用裝置中，該回收利用預設標準的范圍為小于50百萬分之一。

與現有技術中無有機廢水回收利用裝置而使較純凈的有機廢水無法回收利用相比，本發明的有機廢水回收利用裝置先將有機廢水的PH值調整到適宜微生物生長，然后通過生物接觸氧化法將廢水中的有機物分解，最后將其化學需氧量低于回收利用預設標準的廢水排放至其他用水單元以使該廢水被回收利用，如此可將該廢水回收利用且在使用后直接排放，如此可大大節約成本。

附圖說明

本發明的有機廢水回收利用裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本發明的有機廢水回收利用裝置的組成結構示意圖。

具體實施方式

以下將對本發明的有機廢水回收利用裝置作進一步的詳細描述。