[發明專利]鐵電隨機存取芯片制造方法

有效

• 申請號: 200710044331.5
• 申請日: 2007-07-30
• 公開（公告）號: CN101359592A
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發明（設計）人: 徐海生
• 申請（專利權）人: 徐海生
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/84
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所
• 代理人: 翟羽;田興中

1.一種鐵電隨機存取芯片的制造方法，其特征在于包括如下步 驟：首先在塑料基片上涂布導電高分子材料形成底電極；待干燥后在 底電極上涂布鐵電聚合物；涂布完鐵電聚合物后先在室溫干燥，然后 在烘箱中退火；待鐵電聚合物冷卻至室溫后，在鐵電聚合物上涂布上 電極；然后在大氣中干燥形成成品元件；其中：

在底電極上涂布的鐵電聚合物為聚偏氟乙烯-三氟乙烯，其中偏 氟乙烯與三氟乙烯的單體摩爾比為90∶10～50∶50；

在烘箱中退火的步驟中退火溫度為120～150℃，退火時間為 10～60分鐘。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于：在塑料基片上涂布導 電高分子材料形成底電極的步驟是通過調節導電高分子溶液配方在 塑料基片上印刷電極線。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于：在塑料基片上涂布導 電高分子材料形成底電極的步驟是在塑料基片上涂布導電高分子薄 膜。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于：在底電極上涂布鐵電 聚合物的步驟是在已涂布有底電極的塑料基片上印刷鐵電聚合物薄 膜。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于：在底電極上涂布的鐵 電聚合物的步驟還包括在聚偏氟乙烯-三氟乙烯溶解在溶劑中后過濾 溶液以除去機械雜質的步驟。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于：上電極與底電極材料 相同，均由導電高分子制成。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于：上電極材料由聚苯乙 烯磺酸和銀粉混合而成。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于：上電極材料的配方為 重量百分比5％的聚苯乙烯磺酸水溶液8-12克、銀粉0.2-0.6克， 在室溫充分攪拌，每次使用前再攪拌。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于：上電極材料為納米導 電銀漿，上電極材料納米銀的配方為：0.3-0.4g醋酸銀、4-6g十六 烷基胺、70-100ml甲苯、0.2-0.3g苯肼，在60℃溫度下反應1小時。

10.如權利要求1所述的方法，其特征在于：上電極用印刷的方 法印制到鐵電聚合物上，上電極材料以商品導電聚苯胺配制。

11.如權利要求10所述的方法，其特征在于：上電極的配方為：重 量百分比8％的導電聚苯胺10-13克、重量百分比5％的聚苯乙烯磺酸 水溶液5克、重量百分比30％的表面活性劑Zonyl?FS-300水溶液 0.25-0.75克、去離子水12-18克。