[發明專利]一種高鋯含量鉛系復合反鐵電薄膜的低溫制備方法無效
| 申請號： | 200710044210.0 | 申請日： | 2007-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN101100396A | 公開（公告）日： | 2008-01-09 |
| 發明（設計）人： | 翟繼衛;郝喜紅 | 申請（專利權）人： | 同濟大學 |
| 主分類號： | C04B41/50 | 分類號： | C04B41/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 | 代理人： | 余明偉;許亦琳 |
| 地址： | 200092上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 含量 復合 反鐵電 薄膜 低溫 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種高鋯含量鉛系復合反鐵電薄膜的低溫制備方法，包括如下步驟：
a、采用溶膠凝膠法配制不同組分的(Pb0.97La0.02)(Zr1-x-ySnxTiy)O3(x≤0.45，y≤0.10)的前驅溶液，前驅體溶液的最終濃度控制在0.05-0.3M；
b、采用旋轉涂覆的方式在LaNiO3/SiO2/Si或LaNiO3/Si基片上涂覆凝膠膜，將涂覆好的凝膠膜在450℃-500℃放置5～20分鐘，取出后冷卻至室溫，再涂覆下一層凝膠膜，循環往復直到獲得所需厚度的薄膜；
c、再將涂覆好的薄膜在450℃-500℃下處理30-60分鐘，最后濺射上電極。
2、如權利要求1所述的高鋯含量鉛系復合反鐵電薄膜的低溫制備方法，其特征在于：步驟a中，前驅體溶液的溶質為醋酸鉛、醋酸鑭、醋酸錫以及有機鋯、鈦，溶劑為冰醋酸和水。
3、如權利要求1所述的高鋯含量鉛系復合反鐵電薄膜的低溫制備方法，其特征在于：步驟b中，旋轉涂覆時旋轉速度為3000～5000轉/分、時間10～30秒。
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