[發明專利]一種用于半導體材料液相外延生長的隧穿式石墨舟無效
| 申請號： | 200710044176.7 | 申請日： | 2007-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN101353812A | 公開（公告）日： | 2009-01-28 |
| 發明（設計）人： | 鄧惠勇;戴寧 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | C30B19/06 | 分類號： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 半導體材料 外延 生長 隧穿式 石墨 | ||
【權利要求書】：
1.本發明的石墨舟，包括：開有隧道的舟體(1)、與隧道橫截面尺寸配合的滑塊(2)、蓋板(3)和石墨墊片(4)，其特征在于：
隧道(101)的頂面開有數個等間隔的放不同組分母液(7)的母液方孔(102)，滑塊(2)中間開有與外延襯底(5)一樣大小的襯底方孔(201)，襯底方孔內置有調節外延襯底與孔道口高度的石墨墊片(4)，襯底放在石墨墊片上；
母液方孔邊長要小于襯底方孔邊長0.05mm，即母液方孔尺寸為X×Y，襯底方孔尺寸為X+0.05mm×Y+0.05mm；
隧道(101)的長度小于舟體的長度，隧道所處舟體的位置要保證滑塊推入隧道時，滑塊的襯底方孔能在隧道外，以舟體的底面作為托底安裝石墨墊片(4)和襯底(5)；
滑塊(2)的長度要保證其在隧道內移動時，使整個石墨舟保持平衡，并且保證數個母液方孔(102)能以滑塊作為托底注入母液；
蓋板(3)蓋在數個母液方孔(102)上，遮蔽母液方孔；
滑塊(2)的二端各開有一小孔用以插入手柄(6)推動滑塊在隧道內移動。
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