[發(fā)明專利]驗(yàn)證檢測設(shè)備檢測結(jié)果是否正確的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710044090.4
• 申請日: 2007-07-20
• 公開（公告）號: CN101350226A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張啟華;廖炳隆;陳強(qiáng);王君麗
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G11C29/44
• 分類號: G11C29/44
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種驗(yàn)證檢測設(shè)備檢測結(jié)果是否正確的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

提供一芯片，其包括工作區(qū)域以及位于工作區(qū)域外圍的虛設(shè)區(qū)域，分別由數(shù)條位線和字線組成，虛設(shè)區(qū)域不參與工作區(qū)域的電路工作，虛設(shè)區(qū)域的位線或者字線連接有熔絲，且熔絲與工作區(qū)域的預(yù)設(shè)位線或者預(yù)設(shè)字線電路連接；

打斷熔絲，工作區(qū)域的預(yù)設(shè)位線或者預(yù)設(shè)字線與芯片其他位線或者字線斷開連接而失效，虛設(shè)區(qū)域連接該熔絲的位線或者字線代替工作區(qū)域的預(yù)設(shè)位線或者預(yù)設(shè)字線與芯片其他位線或者字線連接，通過打斷熔絲的地址和工作區(qū)域預(yù)設(shè)位線或者預(yù)設(shè)字線的物理地址，得到芯片失效的實(shí)際物理地址；

將該芯片放置于檢測設(shè)備上進(jìn)行失效檢測，輸出失效的檢測物理地址；

比較實(shí)際物理地址和檢測物理地址，若兩者一致，則該檢測設(shè)備的檢測結(jié)果正確，若兩者不一致，則該檢測設(shè)備檢測結(jié)果不正確。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所提供的芯片的所有位線和字線均可正常工作。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：打斷熔絲的步驟是采用聚焦離子束或者激光打斷的。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：熔絲由與芯片金屬層的相同金屬材料制成。