[發(fā)明專利]制程排放水的回收系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710043277.2
• 申請日: 2007-06-29
• 公開（公告）號: CN101333015A
• 公開（公告）日: 2008-12-31
• 發(fā)明（設計）人: 汪建德;安志軍;盛黎君
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C02F1/44
• 分類號: C02F1/44;C02F1/38
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發(fā)明涉及半導體制程，尤其涉及制程排放水的回收系統(tǒng)及方法。

背景技術

在半導體制程的排放水中，通常含有可以回收利用的成分，例如在晶背研磨制程排放水中，含有超細的硅粉末成分，該成分可以用作晶圓煉制的原材料，有回收利用價值。但由于該粉末成分粒徑超細而難以沉降得到純凈物，目前作為廢水處理，通過加藥絮凝沉降后壓成泥餅再外載處理。

目前的過濾方法比較常用的是膜過濾技術，該技術是物理性的固液分離技術，不需化學性的處理。過濾膜基本分類為微濾膜(MF)、超濾膜(UF)和納諾濾膜(NF)。微濾膜除去0.05μm及以上的浮游物質、膠體及菌類，其具有低能耗、流速快等特點。微濾是動態(tài)過濾過程，被截留物質可隨濃縮液排除，不致堵塞膜表面，可長期連續(xù)運行。微濾膜能截留0.1-1微米之間的顆粒和雜質，微濾膜允許大分子物質和溶解性固體(無機鹽)等通過，能阻擋住懸浮物、細菌、部分細菌及大尺度的膠體通過。

現(xiàn)需要一種利用過濾技術對制程的排放水進行回收的系統(tǒng)和方法。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種制程排放水的回收系統(tǒng)及方法，其可以有效回收排放水中的有用成分。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種制程排放水的回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)至少包括濃縮池，回收水槽以及離心機；濃縮池內置微濾膜組，微濾膜組充分濃縮排放水以形成濃縮液注入離心機，同時排放出清水注入回收水槽；離心機對濃縮液進行固液分離，固體累積在離心機內部的分離管。

本發(fā)明還提供一種制程排放水的回收方法，該方法包括如下步驟：a.首先將制程排放水注入濃縮池中；b.制程排放水通過濃縮池中的板式微濾膜組充分濃縮以形成濃縮液沉積在濃縮池中，同時排放出清水泵入回收水槽；c.啟動離心機，濃縮液連續(xù)泵入離心機進行最大限度的固液分離，離心出水連續(xù)排入離心水槽，離心水槽中的離心出水再次注入濃縮池，執(zhí)行步驟b，固體則累積在離心機的分離管內。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的回收系統(tǒng)和回收方法可以充分利用制程的排放水，有效節(jié)約資源，降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

通過以下對本發(fā)明的一實施例結合其附圖的描述，可以進一步理解其發(fā)明的目的、具體結構特征和優(yōu)點。其中，附圖為：

圖1為本發(fā)明制程排放水的回收系統(tǒng)的示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明提供的回收系統(tǒng)主要包括濃縮池11，回收水槽13，濃縮液槽15，離心機17以及離心水槽19。

濃縮池11內置平板式微濾膜組(10片，孔徑0.3um，0.25平方米/片)，微濾膜組下部設置壓縮空氣曝氣系統(tǒng)連續(xù)曝氣。曝氣是在水中通入大量微細氣泡，使其粘附于雜質顆粒上造成整體密度小于1的狀態(tài)，靠浮力使其上升至水面而使固液分離的一種凈水法。該曝氣系統(tǒng)通過壓縮空氣對微濾膜進行氣反沖，氣反沖持續(xù)一段時間，使膜表面吸附的物質脫離濾膜。

回收水槽13用于儲存經(jīng)過微濾膜組過濾出的清水。濃縮液槽15用于儲存經(jīng)過微濾膜組過濾后沉積的濃縮液。

離心機17用于將濃縮液進行最大限度的固液分離，離心出水連續(xù)排入離心水槽19，固體累積在離心機17內部的分離管(未圖示)中。

該系統(tǒng)還包括將微濾模組過濾后的清水排放到回收水槽13中的產(chǎn)水泵21，將含有微濾模組截留的物質的濃縮液泵入濃縮液槽15中的濃縮液泵23，將濃縮液槽15中的濃縮液泵入離心機17的進料泵25，以及將離心水槽19中的水泵入濃縮池11的出水泵27。

本發(fā)明還提供一種制程排放水的回收方法。首先將制程排放水注入濃縮池11中，制程排放水中的有用成分通過濃縮池11中的板式微濾膜組充分濃縮以形成濃縮液沉積在濃縮池11中，同時排放出清水，清水通過產(chǎn)水泵21泵入回收水槽13。

制程排放水持續(xù)通過板式微濾膜組過濾一段時間后，啟動濃縮液泵23將濃縮池11中的濃縮液一次泵入濃縮液槽15。

然后啟動離心機17，由進料泵25將濃縮液槽15中的濃縮液連續(xù)泵入離心機17進行最大限度的固液分離，離心出水連續(xù)排入離心水槽19，固體累積在離心機17的分離管內，達到一定量后(不超過分離管容積)停機，卸下分離管從中取出固體，自然風干后包裝即可。離心水槽19中的離心出水可以通過出水泵27泵入濃縮池11中繼續(xù)執(zhí)行回收方法。

在本發(fā)明較佳實施例中，離心機17采用高速管式離心機，其分離管容積6升或10升，通水能力1.2m³/h(立方米/小時)，轉速16000rpm(轉/分鐘)。