[發明專利]有機預涂金屬板上硅氧氟涂層的制備方法

無效

• 申請號: 200710043176.5
• 申請日: 2007-06-29
• 公開（公告）號: CN101333652A
• 公開（公告）日: 2008-12-31
• 發明（設計）人: 楊立紅;楊曉萍
• 申請（專利權）人: 寶山鋼鐵股份有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/02;C23C16/52;C23C16/30
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 樓仙英

1.一種有機預涂金屬板上硅氧氟涂層的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：

a)在等離子體環境中對所述有機預涂金屬板進行表面清洗和表面活化；

b)使用等離子體增強化學氣相沉積方法，在有機預涂金屬板的有機涂層上沉積形成Si_xO_yF_z薄膜。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其中步驟a)產生等離子體的氣體是氧氣、氮氣、氫氣、氬氣中的任意一種或幾種氣體的組合。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其中所述表面活化的時間控制在0.5～200秒之間。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其中步驟b)所述等離子體增強化學氣相沉積方法包括：

-將含Si、O、F的一種或幾種前驅體通過加熱，以氬氣作為載氣，同時通入氧氣，在等離子發生器作用下形成等離子體，進行等離子化學氣相沉積。

5.根據權利要求1或4所述的方法，其中所述的步驟a)和/或b)在真空環境下進行，該真空環境的真空度范圍為1×10^-6～1×10^-2Pa。