[發明專利]一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備方法有效
| 申請號： | 200710042360.8 | 申請日： | 2007-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN101074170A | 公開（公告）日： | 2007-11-21 |
| 發明（設計）人： | 王根水;董顯林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號： | C04B41/52 | 分類號： | C04B41/52;C04B35/491;H01L21/316 |
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| 地址： | 20005*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅基鋯鈦酸 鉛鐵 電厚膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備方法，包括先驅體的配制、 甩膠、干燥、熱解、退火步驟，其特征在于包括下述步驟：
(1)將醋酸鉛、異丙醇鋯、正丙醇鈦加入有機溶劑中，采用聚 乙烯醇和乙酰丙酮控制粘度和穩定度，在干燥氣氛下通過蒸餾，回流， 過濾配制成鋯鈦酸鉛鐵電厚膜先驅體溶液，溶液的濃度大于0.5摩爾 /升，所述的有機溶劑溶劑為乙二醇甲醚或醋酸，乙二醇甲醚或醋酸 與聚乙烯醇與乙酰丙酮的體積比為：20～40∶5∶1～2；
(2)在清洗的硅基片上制備鎳酸鑭過渡層；
(3)在鎳酸鑭過渡層上通過鋯鈦酸鉛鐵電厚膜先驅體溶液的甩 膠、干燥、退火備所需厚度的厚膜材料。
2.按權利要求1所述的一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備方 法，其特征在于所述的鎳酸鑭過渡層制備方法是以醋酸鎳和醋酸鑭為 起始原料，溶解在醋酸和水的混合溶液中，形成濃度為0.2摩爾/升 的鎳酸鑭先驅體溶液，將鎳酸鑭先驅體溶液通過甩膠沉積到處理好的 硅基片上，經過干燥、熱解、退火制備。
3.按權利要求1或2所述的一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備 方法，其特征在于過渡層的厚度在100～300納米。
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