[發明專利]光刻誤差的計算方法

無效

• 申請號: 200710041903.4
• 申請日: 2007-06-12
• 公開（公告）號: CN101067728A
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: 金曉亮;鄭銘仁;梁強
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所
• 代理人: 余明偉

1.一種光刻誤差的計算方法，其特征在于：利用一類神經網絡模型計算光刻疊對中下一批次工作的誤差，具體包括下列步驟：

(a)假設一疊對誤差源由多個部分所組成，且每一該部分皆包含多個細胞元；

(b)從該類神經網絡模型中取得每一該細胞元的一初始權重，并利用該類神經網絡模型的一測量模塊計算后取得一計算結果，加總得到一第一誤差值；以及

(c)將該計算結果中的一前饋誤差回傳至相關的該細胞元，利用該計算結果及該第一誤差值計算出一新初始權重。

2.根據權利要求1所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該步驟(a)中還包括下列步驟：

(a1)計算每一該部分所包含的該細胞元的數量；以及

(a2)計算該疊對誤差源的總細胞元數。

3.根據權利要求1所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該步驟(b)中還包括下列步驟：

(b1)從該類神經網絡模型中取得每一該細胞元的該初始權重；以及

(b2)假設在該類神經網絡模型的測量過程中，每一該細胞元的權重為一第二權重，將該第二權重加總得到一第二誤差值。

4.根據權利要求3所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該步驟(c)還包括下列步驟：

(c1)將該第二誤差值扣掉該第一誤差值，加上該計算結果得到該前饋誤差；以及

(c2)以該前饋誤差為參數利用一前饋函數計算出該新初始權重，并以該新初始權重做為下一批次測量的一初始權重。

5.根據權利要求1所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：當有一新細胞元產生時，預設該新細胞元的該初始權重為0。

6.根據權利要求1或3或4所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該類神經網絡模型中還包括一權重表，用以儲存該初始權重。

7.根據權利要求6所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該權重表中儲存的該初始權重在計算出該新初始權重后被該新初始權重所取代，做為下一批次工作的初始權重值。

8.根據權利要求1所述的光刻誤差的計算方法，其特征在于：該類神經網絡模型為調適性線性神經元。