[發(fā)明專(zhuān)利]AlGaN/PZT紫外/紅外雙波段探測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710041610.6
• 申請(qǐng)日: 2007-06-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101075647A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張燕;李向陽(yáng);孫璟蘭;孟祥建
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/09
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/09
• 代理公司: 上海新天專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 郭英

1.一種AlGaN/PZT紫外/紅外雙波段探測(cè)器，包括藍(lán)寶石襯底，其特征在于：

在藍(lán)寶石襯底的一面置有AlGaN?PIN結(jié)構(gòu)的紫外探測(cè)器件；在藍(lán)寶石襯底的另一面置有通過(guò)溶膠-凝膠法生長(zhǎng)的PZT鐵電復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)的紅外探測(cè)器件；

所說(shuō)的AlGaN?PIN結(jié)構(gòu)的紫外探測(cè)器件包括：在藍(lán)寶石襯底的一面通過(guò)分子束外延依次排列生長(zhǎng)的GaN緩沖層(2)、n型AlGaN層(3)、I型AlGaN層(4)和p型AlGaN層(5)，在n型AlGaN層(3)上置有下電極(10)，在p型AlGaN層(5)上置有上電極(11)；

所說(shuō)的PZT鐵電復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)的紅外探測(cè)器件包括：在藍(lán)寶石襯底的另一面通過(guò)溶膠-凝膠法依次排列生長(zhǎng)的多孔SiO₂隔熱層(6)、LaNiO₃電極層(7)、PZT薄膜(8)，在PZT薄膜(8)上置有通過(guò)蒸發(fā)的Pt電極層(9)，在LaNiO₃電極層(7)上置有銦柱(12)，在Pt電極層(9)上置有銦柱(13)，置在LaNiO₃電極層(7)上的銦柱(12)和置在Pt電極層(9)上的銦柱(13)與同樣長(zhǎng)有銦柱的基板(14)互連。