[發明專利]AlGaN/PZT紫外/紅外雙波段探測器有效

申請號：	200710041610.6	申請日：	2007-06-04
公開（公告）號：	CN101075647A	公開（公告）日：	2007-11-21
發明（設計）人：	張燕;李向陽;孫璟蘭;孟祥建	申請（專利權）人：	中國科學院上海技術物理研究所
主分類號：	H01L31/09	分類號：	H01L31/09
代理公司：	上海新天專利代理有限公司	代理人：	郭英
地址：	20008***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	algan pzt 紫外紅外波段探測器
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【權利要求書】：

1.一種AlGaN/PZT紫外/紅外雙波段探測器，包括藍寶石襯底，其特征在于：

在藍寶石襯底的一面置有AlGaN?PIN結構的紫外探測器件；在藍寶石襯底的另一面置有通過溶膠-凝膠法生長的PZT鐵電復合薄膜結構的紅外探測器件；

所說的AlGaN?PIN結構的紫外探測器件包括：在藍寶石襯底的一面通過分子束外延依次排列生長的GaN緩沖層(2)、n型AlGaN層(3)、I型AlGaN層(4)和p型AlGaN層(5)，在n型AlGaN層(3)上置有下電極(10)，在p型AlGaN層(5)上置有上電極(11)；

所說的PZT鐵電復合薄膜結構的紅外探測器件包括：在藍寶石襯底的另一面通過溶膠-凝膠法依次排列生長的多孔SiO₂隔熱層(6)、LaNiO₃電極層(7)、PZT薄膜(8)，在PZT薄膜(8)上置有通過蒸發的Pt電極層(9)，在LaNiO₃電極層(7)上置有銦柱(12)，在Pt電極層(9)上置有銦柱(13)，置在LaNiO₃電極層(7)上的銦柱(12)和置在Pt電極層(9)上的銦柱(13)與同樣長有銦柱的基板(14)互連。

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