[發明專利]可靠性測試分析方法及其參數估計方法

有效

• 申請號: 200710040973.8
• 申請日: 2007-05-21
• 公開（公告）號: CN101311738A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 龔斌;簡維廷;楊斯元
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G06F17/50
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李文紅

1.一種可靠性測試分析方法，其特征在于，包括步驟：

隨機抽取樣品進行測試，得到部分或全部樣品的測試數據；

由部分或全部所述測試數據形成樣本庫數據；

確定所述測試數據滿足的分布函數；

利用極大似然估計法對所述樣本庫數據進行參數估計，得到所述分布函數中各參數的估計值；

根據所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別確定各所述參數的修正因子；

利用所述修正因子對各所述參數的估計值進行修正，得到各所述參數的修正值；

將各所述參數的修正值代入與所述分布函數對應的壽命公式中，進行可靠性分析，其中，

所述可靠性測試為產品壽命測試、介質擊穿的可靠性測試、熱載流子注入可靠性測試或柵氧化層完整性可靠性測試中的任一種。

2.如權利要求1所述的測試分析方法，其特征在于：所述分布函數為威布爾分布函數。

3.如權利要求1或2所述的測試分析方法，其特征在于：根據所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別確定各所述參數的修正因子，包括步驟：

分別選擇羅斯修正方法中與各所述參數對應的修正公式；

將所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別代入各所述參數對應的修正公式中，得到各所述參數的修正因子。

4.如權利要求2所述的測試分析方法，其特征在于：當所述參數為形狀參數時，根據所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別確定各所述參數的修正因子，包括步驟：

計算1.37與所述樣本庫數據的數目減去1.92的比值；

計算所述測試樣品的數目與所述樣本庫數據的數目之比的開方；

將所述比值乘以所述開方后加上1，再取倒數。

5.如權利要求1或2所述的測試分析方法，其特征在于：根據所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別確定各所述參數的修正因子，包括步驟：

產生至少一組隨機數據，且每一組所述隨機數據的數目等于所述測試樣品的數目；

分別在每一組所述隨機數據中選取與所述樣本庫數據的數目相同多的數據，形成至少一組隨機樣本庫數據；

利用所述至少一組隨機樣本庫數據，由所述分布函數的反函數得到至少一組符合所述分布的隨機分布數據，其中，所述反函數中的各參數設定為預定值；

分別利用極大似然估計法和最佳線性無偏估計法對所述隨機分布數據進行參數估計，得到各參數的極大似然初始估計值和最佳線性無偏初始估計值；

分別由各所述參數的最佳線性無偏初始估計值與極大似然初始估計值間的比值確定各所述參數的修正因子。

6.如權利要求1或2所述的測試分析方法，其特征在于：根據所述測試樣品的數目和所述樣本庫數據的數目分別確定各所述參數的修正因子，包括步驟：

產生至少一組隨機數據，且每一組所述隨機數據的數目等于所述測試樣品的數目；

分別在每一組所述隨機數據中選取與所述樣本庫數據的數目相同多的數據，形成至少一組隨機樣本庫數據；

利用所述至少一組隨機樣本庫數據，由所述分布函數的反函數得到至少一組符合所述分布的隨機分布數據，其中，所述反函數中的各參數設定為預定值；

利用極大似然估計法對所述隨機分布數據進行參數估計，得到各參數的初始估計值；

分別由各所述參數的預定值與初始估計值間的比值確定各所述參數的修正因子。

7.如權利要求6所述的測試分析方法，其特征在于：產生至少一組隨機數據，包括步驟：

利用計算機隨機產生至少一組值在0～1之間的均勻分布的數據。

8.如權利要求6所述的測試分析方法，其特征在于：將所述各參數的預定值設置為1。