[發明專利]互連線失效檢測方法有效
| 申請號： | 200710040250.8 | 申請日： | 2007-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN101295002A | 公開（公告）日： | 2008-10-29 |
| 發明（設計）人： | 王劍屏 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/02 | 分類號： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 互連 失效 檢測 方法 | ||
1.一種互連線失效檢測方法，其特征在于，包括，
將至少兩個以上具有相同互連線規模的互連線單元串接起來構成失效探測電路；
向失效探測電路輸入測試電流，并測量失效探測電路兩端的電壓；
如果所測得的電壓大于或等于設定電壓值時，則失效探測電路中出現互連線失效；
將出現互連線失效的失效探測電路的輸入與輸出相連構成惠斯通電橋；
向惠斯通電橋輸入電流，測量惠斯通電橋的中點上的電流方向，并根據電流方向來定位失效互連線的位置。
2.如權利要求1所述的互連線失效檢測方法，其特征在于，所述設定電壓值為標準電壓值U與設定的偏差值ΔU之和，其中標準電壓值U是互連線未失效時，失效探測電路兩端總電阻值與測試電流的乘積；偏差值ΔU為互連線失效時，失效探測電路兩端增加的電阻值與測試電流的乘積。
3.如權利要求2所述的互連線失效檢測方法，其特征在于，所述增加的電阻值至少為互連線未失效時失效探測電路兩端總電阻值的20％。
4.如權利要求1所述的互連線失效檢測方法，其特征在于，所述惠斯通電橋為由四個阻值相同的電阻或等效電阻兩兩串聯之后再并聯所構成的電阻或等效電阻結構。
5.如權利要求1至4任一項所述的互連線失效檢測方法，其特征在于，所述定位失效互連線的位置進一步包括，
根據惠斯通電橋的中點上的電流方向，定位出現互連線失效的互連線單元組的位置；
將互連線單元組構成惠斯通電橋并輸入電流，根據惠斯通電橋的中點上的電流方向，定位出現互連線失效的更小互連線規模的互連線單元組的位置；
重復上述步驟直到定位到互連線單元；
通過顯微鏡觀察互連線單元找到出現失效現象的互連線。
6.如權利要求5所述的互連線失效檢測方法，所述互連線單元組至少包括兩個互連線單元。
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