[發明專利]用于電容結構的測試裝置及其保護裝置有效
| 申請號： | 200710040009.5 | 申請日： | 2007-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN101295006A | 公開（公告）日： | 2008-10-29 |
| 發明（設計）人： | 梁山安;章鳴;陳強;郭志蓉 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;G01R31/12;H02H3/08;H01H85/06 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陳煒 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 電容 結構 測試 裝置 及其 保護裝置 | ||
1.一種用于電容結構的測試裝置的保護裝置，其中所述用于電容結構的測試裝置包括至少兩個第一焊盤，用于分別連接待測電容結構的各個極板，所述保護裝置包括：
第二焊盤；以及
限流裝置，所述限流裝置串接于所述至少兩個第一焊盤中的一個和所述第二焊盤之間，其中當通過所述限流裝置的電流大于一電流閾值時，所述限流裝置自動斷開，并且其中所述電流閾值至少部分根據所述用于電容結構的測試裝置的漏電流標準規格電流而確定。
2.如權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述限流裝置與所述第一和第二焊盤通過通孔連接。
3.如權利要求2所述的保護裝置，其特征在于，所述通孔由鎢制成。
4.如權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述第一和第二焊盤由鋁制成。
5.如權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述第一和第二焊盤由銅制成。
6.如以上任一權利要求所述的保護裝置，其特征在于，所述限流裝置為保險絲。
7.如權利要求6所述的保護裝置，其特征在于，所述保險絲由鋁制成。
8.如權利要求6所述的保護裝置，其特征在于，所述保險絲由多晶硅制成。
9.一種用于電容結構的測試裝置，包括：
至少兩個第一焊盤，用于分別連接待測電容結構的各個極板；
如以上任一權利要求所述的保護裝置；以及
測試電源，用于將測試電壓施加在所述至少兩個第一焊盤中的另一個和所述第二焊盤之間。
10.如權利要求9所述的電容結構測試裝置，其特征在于，所述待測電容結構為MIM結構。
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