[發(fā)明專利]對離散樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過程控制的方法及其裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710039556.1
• 申請日: 2007-04-17
• 公開（公告）號: CN101290517A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊斯元;簡維廷
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種對離散樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過程控制的裝置，所述離散樣本數(shù)據(jù)為生產(chǎn)過程中的產(chǎn)品的質(zhì)量特性值，其特征在于，所述的裝置包括：

收集模塊，用于收集離散樣本數(shù)據(jù)；

計(jì)算模塊，用于根據(jù)統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)計(jì)算收集模塊所收集的離散樣本數(shù)據(jù)的置信區(qū)間和雙控制界限；

以及判斷模塊，用于根據(jù)計(jì)算模塊計(jì)算所得的雙控制界限，判斷收集模塊新收集的離散樣本數(shù)據(jù)是受控?cái)?shù)據(jù)或是失控?cái)?shù)據(jù)，若新收集的離散樣本數(shù)據(jù)為受控?cái)?shù)據(jù)，則通知計(jì)算模塊，由計(jì)算模塊根據(jù)統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)重新計(jì)算收集模塊所收集的離散樣本數(shù)據(jù)的置信區(qū)間和雙控制界限，其中，所述離散樣本數(shù)據(jù)包括用于計(jì)算原來的雙控制界限的離散樣本數(shù)據(jù)和新收集的受控?cái)?shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的裝置還包括：分析模塊，用于對所述的失控?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行失效分析，查找產(chǎn)生失控?cái)?shù)據(jù)的因素。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述的裝置還包括：分析處理模塊，用于根據(jù)分析模塊的失效分析，判斷失控?cái)?shù)據(jù)是正確失控?cái)?shù)據(jù)或是錯誤失控?cái)?shù)據(jù)，若失控?cái)?shù)據(jù)是錯誤失控?cái)?shù)據(jù)，則計(jì)算錯誤失控?cái)?shù)據(jù)預(yù)警比率，并判斷錯誤失控?cái)?shù)據(jù)預(yù)警比率是否大于標(biāo)準(zhǔn)的錯誤預(yù)警比率，若錯誤失控?cái)?shù)據(jù)預(yù)警比率大于標(biāo)準(zhǔn)的錯誤預(yù)警比率，則改變統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)中的顯著性水平或容限系數(shù)的可選乘數(shù)并通知計(jì)算模塊，由計(jì)算模塊重新計(jì)算離散樣本數(shù)據(jù)的置信區(qū)間和雙控制界限。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的離散樣本數(shù)據(jù)為失效產(chǎn)品比率。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述的離散樣本數(shù)據(jù)的置信區(qū)間包括平均失效比率上限和平均失效比率下限。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述的平均失效比率上限根據(jù)下述公式計(jì)算：

p‾U=(f+1)F2(f+1)F2+(N-f)]]>

其中，F(xiàn)₂＝F[(1-α/2)；2(f+1)，2(N-f)]，f是失效產(chǎn)品總數(shù)，N是產(chǎn)品總數(shù)，F(xiàn)是統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)，α是顯著性水平。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述的平均失效比率下限根據(jù)下述公式計(jì)算：

p‾L=ff+(N-f+1)F1]]>

其中，F(xiàn)₁＝F[(1-α/2)；2(N-f+1)，2f]，f是失效產(chǎn)品總數(shù)，N是產(chǎn)品總數(shù)，F(xiàn)是統(tǒng)計(jì)分布函數(shù)，α是顯著性水平。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述的離散樣本數(shù)據(jù)的雙控制界限包括內(nèi)控制界限和外控制界限，其中，內(nèi)控制界限包括內(nèi)控制上限和內(nèi)控制下限，外控制界限包括外控制上限和外控制下限。