[發(fā)明專利]具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中儀及定中方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710039270.3
• 申請日: 2007-04-09
• 公開（公告）號: CN101285939A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐敏
• 申請（專利權(quán)）人: 上海遠(yuǎn)超微納技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G01M11/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所
• 代理人: 余明偉

1.一種具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中儀，其特征在于包括：

空氣軸承轉(zhuǎn)臺，用于裝設(shè)待定中光學(xué)部件并通過旋轉(zhuǎn)來確定所述待定中光學(xué)部件的定中誤差；

雙導(dǎo)軌物鏡調(diào)節(jié)臺，設(shè)置有多個(gè)受控電機(jī)及雙導(dǎo)軌，用于裝設(shè)與待定中光學(xué)部件匹配的至少兩個(gè)會(huì)聚物鏡，并由所述多個(gè)受控電機(jī)控制所述至少兩個(gè)會(huì)聚物鏡分別在相應(yīng)的導(dǎo)軌移動(dòng)；

反射鏡，用于將光線反射入所述至少兩個(gè)會(huì)聚物鏡的一個(gè)；

自準(zhǔn)直儀，用于提供平行光線至所述反射鏡；

CCD電子目鏡，用于攝取反射分劃像，其中，所述待定中光學(xué)部件裝設(shè)于所述透鏡框時(shí)由所述自準(zhǔn)直儀提供的平行光線經(jīng)過所述反射鏡及相應(yīng)會(huì)聚物鏡后到達(dá)所述待定中光學(xué)部件，并經(jīng)過所述待定中光學(xué)部件反射后沿所述平行光線入射來的路線原路返回進(jìn)入所述自準(zhǔn)直儀即形成所述反射分劃像；

電源，用于提供所述多個(gè)受控電機(jī)需要的電能。

2.如權(quán)利要求1所述的具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中儀，其特征在于還包括分析平臺，與所述CCD電子目鏡相連接，用于分析所述待定中光學(xué)部件的參數(shù)以確定與所述待定中光學(xué)部件匹配的會(huì)聚物鏡參數(shù)，還用于控制相應(yīng)受控電機(jī)使所述受控電機(jī)控制相應(yīng)會(huì)聚物鏡在對應(yīng)導(dǎo)軌上的移動(dòng)、以及所述至少兩個(gè)會(huì)聚物鏡間的會(huì)聚切換，同時(shí)還用于對所述CCD電子目鏡采集的圖像進(jìn)行分析以得到反射分劃像的運(yùn)動(dòng)情況，所述通過數(shù)碼相機(jī)數(shù)據(jù)采集裝置和軟件分析系統(tǒng)監(jiān)測從被安裝鏡片表面反射回來的自準(zhǔn)直儀十字劃線像的運(yùn)動(dòng)情況，進(jìn)而獲得所述待定中光學(xué)部件的調(diào)整狀況。

3.如權(quán)利要求2所述的所述的具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中儀，其特征在于：所述分析平臺采用LabVIEW軟件完成相應(yīng)分析功能。

4.如權(quán)利要求1所述的具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中儀，其特征在于：所述多個(gè)受控電機(jī)包括移動(dòng)步進(jìn)電機(jī)和切換電機(jī)。

5.一種具有雙聚焦透鏡的光學(xué)定中方法，其特征在于包括步驟：

1)設(shè)定待定中的光學(xué)部件的參數(shù)；

2)根據(jù)所設(shè)定的參數(shù)確定與所述待定中的光學(xué)部件匹配的第一會(huì)聚物鏡的參數(shù)；

3)根據(jù)所確定的會(huì)聚物鏡的參數(shù)選擇相應(yīng)的第一會(huì)聚物鏡，并將其裝設(shè)在雙導(dǎo)軌物鏡調(diào)節(jié)臺第一軌道上，同時(shí)將所述待定中的光學(xué)部件裝設(shè)在空氣軸承工作臺上，并使其中心軸和自準(zhǔn)直儀提供的平行光及空氣軸承工作臺的軸分別重合；

4)分析平臺控制受控電機(jī)使所述第一會(huì)聚物鏡在所述第一導(dǎo)軌上移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)經(jīng)過反射鏡反射至的所述平行光的自動(dòng)聚焦；

5)轉(zhuǎn)動(dòng)所述空氣軸承工作臺時(shí)，CCD電子目鏡采集在所述自準(zhǔn)直儀中形成的相應(yīng)分劃像，其中，所述自準(zhǔn)直儀提供的平行光線經(jīng)過反射鏡及所述第一會(huì)聚物鏡后到達(dá)所述待定中光學(xué)部件，并經(jīng)過所述待定中光學(xué)部件反射后沿所述平行光線入射來的路線原路返回進(jìn)入所述自準(zhǔn)直儀即會(huì)形成相應(yīng)分劃像；

6)分析平臺分析所采集的各分劃像以計(jì)算出所述待定中的光學(xué)部件的定中誤差；

7)根據(jù)所述定中誤差調(diào)節(jié)所述待定中的光學(xué)部件以減小所述定中誤差；

8)根據(jù)所述待定中的光學(xué)部件其他表面的參數(shù)確定相應(yīng)的第二會(huì)聚物鏡，并將其裝設(shè)在所述雙導(dǎo)軌物鏡調(diào)節(jié)臺第二軌道上，同時(shí)控制相應(yīng)受控電機(jī)進(jìn)行會(huì)聚物鏡的切換使所述平行光進(jìn)入所述第二會(huì)聚物鏡；

9)分析平臺控制相應(yīng)受控電機(jī)使所述第二會(huì)聚物鏡在所述第二導(dǎo)軌上移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)經(jīng)過反射鏡反射至的所述平行光的自動(dòng)聚焦，然后重復(fù)步驟5)及6)以驗(yàn)證所述待定中的光學(xué)部件的其他表面定中誤差是否符合要求。