[發明專利]鈦酸鍶鋇法布里－珀羅光學微腔及制備方法無效
| 申請號： | 200710038665.1 | 申請日： | 2007-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN101060231A | 公開（公告）日： | 2007-10-24 |
| 發明（設計）人： | 胡古今;洪學鵾;戴寧 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | H01S5/10 | 分類號： | H01S5/10 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈦酸鍶鋇法布里 光學 制備 方法 | ||
1.一種鈦酸鍶鋇FP光學微腔，它具有二種結構之一，一種為單模光學微腔，另一種為耦合光學微腔；其特征在于：
單模光學微腔包括：鈦酸鍶單晶襯底，在襯底上通過化學溶液法依次排列生長如下結構的膜層：
BST?DBRs/BSTzm/BST?DBRs；
耦合光學微腔包括：鈦酸鍶單晶襯底，在襯底上通過化學溶液法依次排列生長如下結構的膜層：
BST?DBRs/BSTzm/BST?DBRs/BSTzm/BST?DBRs；
上述膜層中的BST?DBRs為FP光學微腔的多孔鈦酸鍶鋇鐵電布拉格反射膜層，其厚度為0.5-3μm，BSTzm為FP光學微腔的致密鈦酸鍶鋇缺陷層，其厚度為10-100nm。
2.一種鈦酸鍶鋇FP光學微腔的制備方法，其過程如下：
§A.前驅體溶液的配制
a).用于制備鐵電布拉格反射膜層的前驅體溶液的配制：
溶劑為冰醋酸，穩定劑為已酰丙酮，增稠劑為聚乙烯吡咯烷酮，它們的摩爾比為25～35:0.5～1.5:0.5～1.5；
溶質為醋酸鍶、醋酸鋇、正丁醇鈦，它們的摩爾比為(1—x):x:1，其中0<x<1；
先將醋酸鍶、醋酸鋇溶于40-80℃的冰醋酸中，待溶液冷卻到室溫后依次將已酰丙酮、正丁醇鈦、聚乙烯吡咯烷酮加入上述溶液中持續攪拌，通過稀釋或者蒸餾將溶液的濃度調整為0.2-0.8M/L，并過濾得到澄清透明的前驅體溶液；
b).用于制備缺陷層的前驅體溶液的配制：
溶劑為冰醋酸，穩定劑為已酰丙酮，它們的摩爾比為25～35:0.5～1.5；
溶質為醋酸鍶、醋酸鋇、正丁醇鈦，它們的摩爾比為(1—x):x:1，其中0<x<1；
先將醋酸鍶、醋酸鋇溶于40-80℃的冰醋酸中，待溶液冷卻到室溫后依次將已酰丙酮、正丁醇鈦加入上述溶液中持續攪拌，通過稀釋或者蒸餾將溶液的濃度調整為0.3M/L，并過濾得到澄清透明的前驅體溶液；
§B.光學微腔膜層的制備：
微腔膜層采用常規的旋涂鍍膜工藝，按權利要求1中所述的膜層結構依次在鈦酸鍶襯底上制備。
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