[發(fā)明專利]一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710038220.3
• 申請日: 2007-03-20
• 公開（公告）號: CN101269296A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李雨庭
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體制程中的廢氣處理系統(tǒng)及方法，尤其涉及一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)

在半導體器件制造過程中會產(chǎn)生大量的廢棄物，其中包括一些有毒有害物質(zhì)，如含氟、含氯的化合物等。如果包含這些有毒有害物質(zhì)的廢氣或者廢液得不到妥善處理，則會對晶圓制造廠及其周邊的環(huán)境造成巨大的影響。

目前，主要采用濕式洗滌機(wet?scrubber)來處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣，然而，當廢棄物中混有含氟和/或含氯的氣體時，則濕式洗滌機無法徹底清除這些有毒有害氣體。

若要較為徹底地清除含氟或含氯的有害氣體，一般可以采用以下兩種方法：1)采用超過1200攝氏度的高溫來分解含氟或含氯的化合物，但是采用該方法對能源消耗量很大，成本非常高；2)采用干式洗滌機，將有毒有害氣體通過干式洗滌機中的吸附器(absorbent?bed)，使氣體中的氟或氯與吸附器中的鈣或活性炭等化學物質(zhì)反應(yīng)，以去除有毒成分，然而，當廢氣中混雜著水汽時，在處理過程中會產(chǎn)生一些副產(chǎn)物，并堵塞吸附器，因此需要經(jīng)常更換吸附器，同樣會增加廢氣處理成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法，以提高廢氣處理效率，降低處理成本，并延長吸附器的使用壽命。

為了達到上述的目的，本發(fā)明提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機和用于處理含氟或含氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機，其中，所述的濕式洗滌機和干式洗滌機之間還包括氣液分離裝置，多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次經(jīng)過濕式洗滌機和氣液分離裝置后分離成液體和氣體，再使該分離出的氣體經(jīng)過干式洗滌機處理并排出。

在上述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)中，所述的干式洗滌機中裝有吸附器，用于去除廢氣中氟或氯的成分。

在上述的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)中，經(jīng)氣液分離裝置分離出來的液體被回收至濕式洗滌機重復利用。

本發(fā)明的另一解決方案是提供一種用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法，所述方法包括下列步驟：a.使多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過濕式洗滌機處理，去除廢氣中的有毒有害的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣；b.將步驟a處理后的氣液混合物分離成液體和氣體；c.使步驟b分離出來的氣體通過干式洗滌機處理后排出。

本發(fā)明的系統(tǒng)和方法，通過將多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次通過濕式洗滌機和氣液分離裝置，使廢氣中的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣得到處理，并將廢氣中的水汽分離出來，以保證進入干式洗滌機的氣體中沒有混雜水汽，從而防止反應(yīng)過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物堵塞吸附器，達到既能清除廢氣中的有毒有害成分，又能延長吸附器使用壽命的效果。

附圖說明

通過以下實施例并結(jié)合其附圖的描述，可以進一步理解其發(fā)明的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中，附圖為：

圖1為本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法的步驟流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)和方法作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本發(fā)明的用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的系統(tǒng)，主要包括用于處理工藝產(chǎn)生的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣的濕式洗滌機1、氣液分離裝置2、以及用于處理含氟或含氯的特殊廢氣成分的干式洗滌機3。多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣依次經(jīng)過濕式洗滌機1和氣液分離裝置2后分離成液體和氣體，該液體可被回收至濕式洗滌機1重復利用，或者直接排出，而該分離出的氣體則需經(jīng)過干式洗滌機3，利用干式洗滌機3內(nèi)的吸附器(未圖示)將氣體內(nèi)的氟、氯成分清除后再排出。

請參閱圖2，本發(fā)明用于處理多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣的方法首先執(zhí)行步驟S10，使多種有害氣體混合產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過濕式洗滌機處理，去除廢氣中的的粉塵、結(jié)晶物及一般廢氣。

接著，執(zhí)行步驟S20，將上述處理后的氣液混合物分離成液體和氣體。由于液體已經(jīng)過濕式洗滌機處理得到凈化，因此可直接回收利用或者向外排出。

最后，執(zhí)行步驟S30，使分離出來的含氟或氯的氣體通過干式洗滌機處理，清除氣體中的氟、氯成分后排出。由于進入干式洗滌機的氣體中不包含水汽，因此不容易出現(xiàn)副產(chǎn)物堵塞干式洗滌機中的吸附器的情況，可有效延長吸附器的使用壽命。

綜上所述，采用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法可大大提高晶圓制造廠的廢氣處理效率，減少吸附器的更換次數(shù)，并降低處理成本。