[發明專利]一種納米尺度孿晶銅薄膜的制備方法無效
| 申請號： | 200710037907.5 | 申請日： | 2007-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN101016616A | 公開（公告）日： | 2007-08-15 |
| 發明（設計）人： | 謝琦;蔣玉龍;屈新萍;茹國平;李炳宗 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58;C22F1/08 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 | 代理人： | 陸飛;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 尺度 孿晶銅 薄膜 制備 方法 | ||
【說明書】：
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