[發(fā)明專利]保護(hù)膜及其支架

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710037744.0
• 申請(qǐng)日: 2007-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN101256352A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉戈煒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/14
• 分類號(hào): G03F1/14;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李文紅

1.?一種保護(hù)膜，所述保護(hù)膜包括支架和粘附于所述支架上的薄膜，所述支架的側(cè)壁具有開口，其特征在于：在所述開口處還具有氣體過(guò)濾裝置。

2.?如權(quán)利要求1所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置包含吸附氨氣和/或含硫氣體的濾芯。

3.?如權(quán)利要求1所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置包括活性碳纖維或活性碳粉或沸石的濾芯。

4.?如權(quán)利要求1所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置位于所述開口內(nèi)。

5.?如權(quán)利要求1所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置位于所述開口的任一側(cè)。

6.?如權(quán)利要求1、2或3所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述開口處還具有顆粒過(guò)濾裝置，所述顆粒過(guò)濾裝置在保護(hù)膜外的空氣到達(dá)所述氣體過(guò)濾裝置前將所述空氣中的顆粒濾除。

7.?如權(quán)利要求6所述的保護(hù)膜，其特征在于：所述顆粒過(guò)濾裝置與所述氣體過(guò)濾裝置相對(duì)設(shè)置。

8.?一種保護(hù)膜的支架，所述支架的側(cè)壁具有開口，其特征在于：在所述開口處具有氣體過(guò)濾裝置。

9.?如權(quán)利要求8所述的支架，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置包含吸附氨氣和/或含硫氣體的濾芯。

10.?如權(quán)利要求8所述的支架，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置包括活性碳纖維或活性碳粉或沸石的濾芯。

11.?如權(quán)利要求8所述的支架，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置位于所述開口內(nèi)。

12.?如權(quán)利要求8所述的支架，其特征在于：所述氣體過(guò)濾裝置位于所述開口的任一側(cè)。

13.?如權(quán)利要求8、9或10所述的支架，其特征在于：所述開口處還具有用于濾除即將進(jìn)入所述氣體過(guò)濾裝置的氣體中的顆粒的顆粒過(guò)濾裝置，所述顆粒過(guò)濾裝置與所述氣體過(guò)濾裝置相對(duì)設(shè)置。

14.?如權(quán)利要求13所述的支架，其特征在于：所述開口的外側(cè)還具有一個(gè)殼體，所述顆粒過(guò)濾裝置與所述氣體過(guò)濾裝置組裝于所述殼體內(nèi)。