[發明專利]一種去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法

有效

• 申請號: 200710037465.4
• 申請日: 2007-02-13
• 公開（公告）號: CN101245968A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 瞿丹紅;吳協祥;張士仁;陳淑美
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F26B7/00
• 分類號: F26B7/00;F26B5/16;F26B3/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及熱電偶的制作，特別涉及一種去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法。

背景技術

在半導體制造領域，溫度是最重要的控制參數之一，半導體設備中通常需設置多個溫度偵測點以確保整個設備的溫度均一性，故需使用具有多個偵測點的熱電偶。該具有多個偵測點的熱電偶由多個不同長度的已封裝在陶瓷護套中的分熱電偶組成，而該多個不同長度的分熱電偶需集中封裝在一個石英護套中，其封裝過程是將該多個不同長度的分熱電偶放置且固定在兩端都開口的石英護套中，然后通過乙炔槍或氫氧焰等將石英護套一端封閉。

但是，在通過乙炔槍或氫氧焰等將石英護套一端封閉時，生成的水份極易殘留在石英護套中，即使對石英護套加熱也很難將石英護套中的水份完全去除，如此熱電偶長期處在潮濕的環境中，易造成使用壽命的降低和測量準確度的降低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法，通過所述方法可徹底去除石英護套中的水份。

本發明的目的是這樣實現的：一種去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法，其中，該石英護套的一端已密封，該方法包括以下步驟：(1)向石英護套中灌入有機溶劑并使石英護套中的水份溶解在該有機溶劑中；(2)倒掉石英護套中的有機溶劑；(3)對該石英護套進行加熱以去除石英護套中殘余的有機溶劑和水份。

在上述的去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法中，該有機溶劑為異丙醇。

在上述的去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法中，在步驟(3)中，通過干燥箱對該石英護套進行加熱以去除石英護套中殘余的有機溶劑和水份，其中，該干燥箱的溫度范圍為100到150攝氏度，處理時間為12至24小時。

與現有的僅通過加熱去除石英護套中的水份相比，本發明的方法先用有機溶劑溶解石英護套中的水份，然后再對石英護套進行加熱，如此將徹底去除石英護套中的水份，避免了水份影響熱電偶使用壽命和測試準確度。

附圖說明

本發明的去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法由以下的實施例及附圖給出。

圖1本發明中的熱電偶安裝在石英護套中的示意圖；

圖2為為本發明的去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法的實施例的流程圖。

具體實施方式

以下將對本發明的去除裝設有熱電偶的石英護套中水份的方法作進一步的詳細描述。

參見圖1，顯示了本發明中的熱電偶安裝在石英護套中的示意圖，如圖所示，分熱電偶100、101、102、103和104安裝固定在石英護套11中，石英護套11的一端已封閉。

參見圖2，結合參見圖1，本發明的去除裝設有熱電偶的石英護套11中水份的方法，其中，所述的石英護套11的一端已密封，首先進行步驟S20，向石英護套11中灌入有機溶劑并使石英護套11中的水份溶解在所述的有機溶劑中。在本實施例中，所述的有機溶劑為異丙醇。接著繼續步驟S21。

在步驟S21中，倒掉石英護套11中的有機溶劑。接著繼續步驟S22。

在步驟S22中，對所述的石英護套11進行加熱以去除石英護套11中殘余的有機溶劑和水份。在本實施例中，通過干燥箱對該石英護套進行加熱以去除石英護套中殘余的有機溶劑和水份，其中，干燥箱的溫度范圍為100到150攝氏度，處理時間為12至24小時。

綜上所述，本發明的方法先用有機溶劑溶解石英護套中的水份，然后再對石英護套進行加熱，如此將徹底去除石英護套中的水份，避免水份對熱電偶使用壽命和測試準確度的不良影響。