[發(fā)明專利]物體表面形貌納米精度的實(shí)時(shí)干涉測量裝置及其測量方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710037264.4 | 申請(qǐng)日： | 2007-02-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101017082A | 公開（公告）日： | 2007-08-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 何國田;王向朝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/00 | 分類號(hào)： | G01B11/00;G01B11/24;G01B9/02;G01B9/023 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 物體 表面 形貌 納米 精度 實(shí)時(shí) 干涉 測量 裝置 及其 測量方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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