[發明專利]線路修補方法

無效

• 申請號: 200710037151.4
• 申請日: 2007-02-06
• 公開（公告）號: CN101241876A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發明（設計）人: 張啟華;高強;趙燕麗;王燕君
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/768
• 分類號: H01L21/768
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及一種線路修補方法，具體地說，涉及修補線路上斷路的導電線的線路修補方法。

背景技術

線路設計出來之后，大部分都會存在某些缺陷，這些缺陷在設計階段可能無法發現，一般只有等流片出來之后，通過測試才能發現。設計人員通常會用線路修補的方法進行改進。線路修補的一般做法就是切斷一些短路的導電線或把先前應該連接卻沒有連接即斷路的導電線連接起來，通常上述操作步驟是由聚焦離子束(Focused?Ion?Beam，以下簡稱FIB)來完成的。

圖1是采用FIB連接斷路的兩導電線的示意圖。請參閱圖1，目前業界采用的線路修補方法包括如下步驟：a0.在線路1’上找到要連接的第一導電線2’、第二導電線3’，在需要連接的點，蝕刻掉鈍化劑、氧化硅和氧化氮等介質層形成蝕刻孔4’，5’，露出第一導電線2’、第二導電線3’；b0.分別在上述蝕刻孔里，通過用FIB沉積鉑金屬(或鎢金屬)的方法各接出一個導電墊(未圖示)；c0.用FIB沉積鉑金屬線6’作為連線將兩個導電墊電性連接，從而電性導通上述兩導電線。

當兩連接點距離較近時，鉑金屬線6’作為連線可以滿足性能要求。然而，當兩連接點距離較遠時，作為連線的鉑金屬線就會較長，電阻也就很大。舉例來說，通常FIB沉積的鉑金屬線為線寬1um，厚0.3um，即鉑金屬線橫截面面積(S)較小，鉑的電阻率(ρ)比較大，研究表明約為400uΩ.cm，根據公式R＝ρ.L/S可知，當沉積鉑金屬線的長度為1000um，連線電阻(R)就會達到10kΩ之多，有可能在測試的時候被認為是斷路。這對于線路諸如芯片，尤其是對速度要求很高的先進制程的芯片，無疑是不可接受的。

通常FIB沉積一條厚0.3um，寬1um，長100um的鉑金屬線，需要半個小時，若上述兩個導電墊之間相距1000um，則FIB需要沉積5個小時，且長度越長，用的時間越多，由于FIB按使用時間計費的，隨之成本也就越高。另外，由于芯片表面是凹凸不平的，鉑金屬線太長之后很容易斷線，不小心劃到也會斷線。

鑒于上述原因，本發明提供一種新的線路修補方法。

發明內容

本發明解決的技術問題是提供一種連線電阻低、節省操作時間及成本低的線路修補方法。

為解決上述技術問題，本發明提供一種線路修補方法，其用于連接斷路的導電線，該方法包括如下步驟：a.確定線路上需要連接的兩導電線；b.分別確定上述兩導電線的連接點，蝕刻掉連接點處的介質層，形成蝕刻孔露出導電線；c.用導電膠水電性連接露出的導電線，從而電性導通上述兩導電線。

與現有技術相比，本發明線路修補方法采用導電膠水作為連線，由于導電膠水的形狀、大小、厚度都沒有限制，使得導電通路的阻值可以很小。一般情況下，只需要一滴導電膠水就可以實現連接，有效地節省了操作時間，降低了成本。而且導電膠水又寬又厚，不容易劃傷，使得導電通路具有較好的穩定性。

附圖說明

通過以下對本發明一實施例結合其附圖的描述，可以進一步理解其發明的目的、具體結構特征和優點。其中，附圖為：

圖1為采用FIB連接斷路的導電線的示意圖。

圖2為使用本發明線路修補方法連接斷路的導電線的示意圖。

具體實施方式

本發明公開了一種線路修補方法，其用于連接線路上斷路的導電線。請參閱圖2，該線路修補方法包括如下步驟：a.確定線路1上需要連接的第一導電線2及第二導電線3；b.分別在上述導電線2，3上確定連接點，用FIB或激光束或其他方法蝕刻掉連接點處的介質層，形成蝕刻孔4，5露出導電線2，3，所述蝕刻孔不限于圓形孔，也包括其他形狀如方形的孔。該介質層一般由鈍化劑、氧化硅和氧化氮等等形成；c.用導電膠水6作為連線電性連接露出的導電線2，3，從而使得兩導電線2，3電性導通。

步驟b還包括通過FIB沉積鉑金屬或其他合適的金屬的方法從上述蝕刻孔4，5中各引出一個導電墊(未圖示)，步驟c中導電膠水通過細針引流，將兩個導電墊電性連接起來，再低溫短時間固化，就完成了兩導電線2，3的連線。由于導電膠水的形狀、大小、厚度都沒有限制，所以導電通路的阻值可以很小。一般情況下，只需要一滴導電膠水就可以將兩個導電墊連接，不僅節省了成本，而且有效地節省了操作時間。而且導電膠水又寬又厚，不容易劃傷，浸潤性又好，所以不會有斷層、斷路的現象，從而導電通路具有很好的穩定性。

另外，上述線路修補方法還可以包括導電膠水上粘連接兩導電墊的細金屬絲比如粘細銅線、金線、銀線，這樣使連線的阻值更低。

需要注意的是，本發明的線路修補方法不僅用于修補具有缺陷的線路，還可以用于通過修改線路已有連接，改變原有線路的功能。對本領域普通技術人員來說，可以根據本發明的技術方案及其發明構思加以等同替換或改變，而所有這些改變或替換都應屬于本發明所要求保護的范圍之內。