[發明專利]單晶硅片表面磷酸基硅烷－碳納米管復合薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 200710037045.6 | 申請日： | 2007-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN101036910A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | 程先華;亓永;李鍵;顧勤林 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | B05D5/08 | 分類號： | B05D5/08;B05D1/18;B05C19/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海交達專利事務所 | 代理人： | 毛翠瑩 |
| 地址： | 200240*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 表面 磷酸 硅烷 納米 復合 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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