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[發明專利]一種用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置無效

專利信息
申請號: 200710034256.4 申請日: 2007-01-12
公開(公告)號: CN101220518A 公開(公告)日: 2008-07-16
發明(設計)人: 向小龍 申請(專利權)人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
主分類號: C30B31/16 分類號: C30B31/16
代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 代理人: 馬強
地址: 410111湖南*** 國省代碼: 湖南;43
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 高溫 擴散 系統 尾氣 收集 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置,包括石英反應管(1),其特征在于,還包括放置在所述石英反應管(1)內部的尾氣導出管(2)、冷卻瓶(4)、盤管(6)和收集瓶(5),其中尾氣導出管(2)一側與冷卻瓶(4)一端連接,冷卻瓶(4)另一端與盤管(6)一端連接,盤管(6)固定于收集瓶(5)瓶身,且盤管(6)另一端與收集瓶(5)相通。

2.根據權利要求1所述用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置,其特征在于,所述尾氣導出管(2)和冷卻瓶(4)之間及冷卻瓶(4)與盤管(6)之間均通過四氟連接頭(3)連接。

3.根據權利要求1所述用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置,其特征在于,所述尾氣導出管(2)和冷卻瓶(4)之間及冷卻瓶(4)與盤管(6)之間均通過公母球形磨口接頭連接,且由彈性不銹鋼夾子緊固。

4.根據權利要求1所述用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置,其特征在于,所述尾氣導出管(2)與盤管(6)的管徑為Φ16。

5.根據權利要求1所述用于高溫擴散系統的尾氣收集裝置,其特征在于,所述收集瓶經過隔板(7)分為上下兩層,所述隔板(7)上設有直徑Φ1.5~2mm的細孔,收集瓶上層放置有氣體吸附劑(8)。

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