[發(fā)明專利]熱絲與熱蒸發(fā)氣相沉積薄膜設備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710030643.0
• 申請日: 2007-09-30
• 公開（公告）號: CN101397654A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發(fā)明（設計）人: 邵慶益
• 申請（專利權）人: 漳州師范學院
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/27;C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于材料制備的化學氣相沉積設備，為了將熱絲化學氣相沉積工藝和熱 蒸發(fā)沉積工藝合并為一個整體，使得在低壓環(huán)境下相關的材料制備工藝連續(xù)化 和簡單化，而不需要將樣品在工藝的途中經過大氣環(huán)境從一個真空室轉移到另 一個真空室，也使得熱絲化學氣相沉積和熱蒸發(fā)沉積兩種工藝同時工作，組合 成制備工藝，技術方案是在熱絲化學氣相沉積現有設備的熱絲和進氣口平板之 間位置增加一個熱蒸發(fā)裝置；

設備由供氣系統、抽氣系統、冷卻系統、真空反應室、襯底支架、熱絲源 氣體激活裝置、熱蒸發(fā)裝置和電控系統組成；

其特征在于：在上述設備中，所述的熱蒸發(fā)裝置與熱絲源氣體激活裝置組 成復合裝置；熱蒸發(fā)裝置包含熱蒸發(fā)絲、熱蒸發(fā)絲支架和對熱蒸發(fā)絲供電的熱 蒸發(fā)絲電源；熱絲源氣體激活裝置由熱絲激活部分組成，熱絲激活部分包含熱 絲、熱絲支架和對熱絲供電的熱絲電源，和熱絲相對基底的偏壓電源，熱絲電 源能使熱絲激活源氣體；

熱蒸發(fā)絲電源能使熱蒸發(fā)絲單獨進行蒸發(fā)工作，也能與熱絲等離子體裝置 同時工作，設備襯底支架相對熱絲、或熱蒸發(fā)絲運動，或相對熱絲和熱蒸發(fā)絲 的組合運動；

熱蒸發(fā)絲均勻安裝于熱蒸發(fā)絲支架上，位于進氣口平板與熱絲之間，熱蒸 發(fā)絲到熱絲的距離可調節(jié)，熱蒸發(fā)絲用鎢絲、鉭絲或錸絲高熔點金屬絲制成， 絲上放置或懸掛金屬舟，舟內放置需要蒸發(fā)的材料；或用需要蒸發(fā)、含有需要 蒸發(fā)材料的低熔點金屬絲制作；

進氣口平板位于熱蒸發(fā)絲上方，內有冷卻液孔洞連接于冷卻液管道上，進 氣口平板到襯底支架距離可調節(jié)；熱絲均勻安裝于熱絲支架上，位于襯底支架 與熱蒸發(fā)絲之間，熱絲到襯底支架表面距離可調節(jié)，熱絲用鎢絲、鉭絲或錸絲 高熔點金屬絲制成；襯底支架位于熱絲的下方，襯底支架內有冷卻液孔洞，連 接到冷卻液管道，附有熱電偶或其它測溫儀表。

2.按照權利要求1所述的化學氣相沉積設備，其特征在于：所述襯底支架相對 運動，是熱絲和熱蒸發(fā)絲固定不動，襯底支架勻速轉動。

3.按照權利要求1所述的化學氣相沉積設備，其特征在于：所述襯底支架相對 運動，是熱蒸發(fā)絲和襯底支架固定不動，熱絲支架勻速轉動。

4.按照權利要求1所述的化學氣相沉積設備，其特征在于：所述襯底支架相對 運動，是熱絲和熱蒸發(fā)絲固定不動，一系列的襯底支架攜帶襯底連續(xù)地分別移 動進入真空反應室內，再勻速轉動，當襯底上樣品表面沉積材料后，襯底支架 攜帶襯底從真空反應室內移出。

5.按照權利要求2所述的化學氣相沉積設備，其特征在于：所述熱絲固定不動， 是指熱絲不能整體平動，但轉動一定角度；熱絲支架只有一根支柱，熱絲的兩 電極沿著這根支柱相互絕緣引出；熱絲支架繞這根支柱轉動一定角度，從位于 襯底支架上方到遠離襯底支架上方的相互轉動。

6.按照權利要求4所述的化學氣相沉積設備，其特征在于：所述熱絲固定不動， 是指熱絲不能整體平動，但轉動一定角度；熱絲支架只有一根支柱，熱絲的兩 電極沿著這根支柱相互絕緣引出；熱絲支架繞這根支柱轉動一定角度，從位于 襯底支架上方到遠離襯底支架上方的相互轉動。