[發明專利]一種橢偏測量裝置

無效

• 申請號: 200710027449.7
• 申請日: 2007-04-06
• 公開（公告）號: CN101051022A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 黃佐華;王禮娟;楊懷
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 廣州粵高專利代理有限公司
• 代理人: 何淑珍

1.一種橢偏測量裝置，包括入射臂、樣品旋轉平臺(12)、出射臂，所述入射臂包括光源(10)、起偏器(1)、1/4波片(2)，所述出射臂包括檢偏器(7)、光電探測器(9)，入射臂的光軸和出射臂的光軸相交于樣品旋轉平臺(12)的轉動軸，入射臂和出射臂所組成的入射面與樣品旋轉平臺(12)的轉動軸垂直；入射臂、出射臂和樣品旋轉平臺(12)可繞該轉動軸旋轉，以改變在樣品旋轉平臺(12)上的樣品(3)的入射角；

其特征在于：所述出射臂還包括透鏡空間濾波組件(13)，透鏡空間濾波組件(13)在樣品旋轉平臺(12)和檢偏器(7)之間，經樣品(3)反射的散射光由透鏡空間濾波組件(13)選擇出平行于出射臂的光軸的平行光，所述透鏡空間濾波組件(13)包括小孔光闌(4)、透鏡(5)和空間濾波器(6)，并依次按透鏡(5)光軸共軸放置，小孔光闌(4)在靠近樣品旋轉平臺(12)一側，透鏡(5)靠近光闌(4)放置，透鏡(5)與樣品(3)之間距離約等于透鏡(5)的焦距，空間濾波器(6)位于透鏡(5)后焦平面上。

2.根據權利要求1所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述小孔光闌(4)為方形或圓形，大小可調整固定。

3.根據權利要求2所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述透鏡(5)為傅立葉變換單透鏡。

4.根據權利要求3所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述入射臂還包括光束處理組件(11)，光束處理組件(11)位于光源(10)與起偏器(1)之間，由偏振片或偏振器(111)、1/4波片(112)和小孔光闌(113)組成，偏振片或偏振器(111)靠近光源，1/4波片(112)在偏振片或偏振器(111)和小孔光闌(113)中間。

5.根據權利要求4所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述光源(10)帶三維微調和準直機構。

6.根據權利要求5所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述樣品旋轉平臺(12)帶有樣品夾持裝置，樣品夾持裝置具有三維微調機構。

7.根據權利要求6所述的橢偏測量裝置，其特征在于：所述出射臂的檢偏器(7)和光電探測器(9)之間還放置了一個聚光透鏡(8)。

8.根據權利要求7所述的橢偏測量裝置，其特征在于還包括信號處理、控制及計算機系統(14)，該系統(14)與樣品旋轉平臺(12)、起偏器(1)、檢偏器(7)和光電探測器(9)相連接，可控制、采集起偏器(1)、檢偏器(7)的角度值，可采集入射到光電探測器(9)的光強，可控制入射臂、出射臂和樣品旋轉平臺(12)的旋轉。