[發(fā)明專利]超高純氫氟酸的提純方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710025770.1
• 申請(qǐng)日: 2007-08-06
• 公開（公告）號(hào): CN101125639A
• 公開（公告）日: 2008-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戈士勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰市潤(rùn)瑪電子材料有限公司
• 主分類號(hào): C01B7/19
• 分類號(hào): C01B7/19
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所
• 代理人: 唐紉蘭

1.一種超高純氫氟酸的提純方法，其特征在于該方法的主要工藝如下：

步驟一、精餾

將工業(yè)無水氟化氫液體通入精餾釜，用氮?dú)庵脫Q精餾釜中的空氣，控制精餾釜內(nèi)壓力≤0.1Mpa，加入高錳酸鉀，高錳酸鉀的加量占工業(yè)無水氟化氫加量的0.16-1重量％，攪拌10分鐘±5分鐘，靜止20分鐘±5分鐘，使工業(yè)無水氟化氫中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成難以揮發(fā)的化合物；然后加入30重量％的過氧化氫，過氧化氫占工業(yè)無水氟化氫加量的0.5-5重量％，攪拌10分鐘±5分鐘，靜止20分鐘±5分鐘；升溫至60-80℃，氟化氫液體氣化生成純化的氟化氫氣體；

步驟二、冷卻過濾

將出精餾釜的純化的氟化氫氣體通入冷卻器進(jìn)行冷卻并過濾，冷卻器底部布滿聚四氟乙稀填料，對(duì)氟化氫氣體進(jìn)行過濾，通過降溫把已經(jīng)純化后的氟化氫氣體轉(zhuǎn)換成氣液相臨界狀態(tài)，使其中還存有的少量雜質(zhì)進(jìn)行分離，雜質(zhì)部分回流至精餾釜，經(jīng)冷卻過濾得再次純化的氟化氫氣體進(jìn)入吸收塔；

步驟三、吸收

吸收塔內(nèi)注入去離子水，吸收塔底部設(shè)置布?xì)獗P管，將出冷卻器的氟化氫氣體通入吸收塔底部的布?xì)獗P管，由布?xì)獗P管管壁上的布?xì)饪揍尫懦鰜砗笤儆扇ルx子水吸收制成氫氟酸半成品；

步驟四、過濾

出吸收塔的氫氟酸半成品通入0.05-0.2μm的過濾器過濾后得到超高純氫氟酸成品。