[發明專利]在三維異形曲面腐蝕復雜圖案的方法有效
| 申請號： | 200710024850.5 | 申請日： | 2007-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN101078873A | 公開（公告）日： | 2007-11-28 |
| 發明（設計）人： | 胡寧生;撒世國;胡鵬;康慶生;徐錦新;張毅 | 申請（專利權）人： | 航天晨光股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 | 代理人： | 何朝旭 |
| 地址： | 211100江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三維 異形 曲面 腐蝕 復雜 圖案 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法，其特征在于包括以下步驟：
1)通過二次照相曝光，將膠片上的設計圖案成像在轉印菲林上；
2)在待腐蝕三維異形曲面上覆蓋一層感光膠；
3)在感光膠上涂附一層透光油脂；
4)將成像后的所述轉印菲林以最大接觸面積貼附在經過上述處理的整個三維異形曲面上；
5)選擇兩側圖案可以對接處將裕出的局部所述轉印菲林疊合；
6)將圖案疊合處割開，在保證圖案基本對接的前提下，使疊合處平整化；
7)曝光顯影后，清除所述轉印菲林，使待腐蝕三維異形曲面與化學腐蝕液接觸。
2.根據權利要求1所述在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法，其特征在于：所述步驟6)中，在疊合邊緣割開，使原先疊合的轉印菲林相互疊壓，并使圖案銜接過渡順暢。
3.根據權利要求1所述在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法，其特征在于：所述步驟6)中，割除疊合部分，從而使割縫兩側轉印菲林平整對接，保證圖案銜接順暢。
4.根據權利要求2或3所述在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法，其特征在于：所述三維異形曲面由心形截面曲錐筒體表面構成。
5.根據權利要求4所述在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法，其特征在于：所述轉印菲林厚度為15微米。
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