[發(fā)明專利]一種能夠快速均勻混合氣體的微混合器及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710024692.3
• 申請日: 2007-06-27
• 公開（公告）號: CN101091887A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設計）人: 丁建寧;馬春紅;潘劍峰;程廣貴
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: B01F5/06
• 分類號: B01F5/06;B01F3/02
• 代理公司: 南京知識律師事務所
• 代理人: 汪旭東

1、一種能夠快速均勻混合氣體的微混合器，其特征在于：在原有的微型T混合器的混合通道內加入了凸脊，凸脊高度與混合通道深度一致，凸脊的寬度為混合通道的一半，長度與寬度一致，凸脊沿混合通道兩邊錯開分布，相鄰凸脊之間相隔一個凸脊的寬度，且對錯均勻排列。

2、根據權利要求1所述的一種能夠快速均勻混合氣體的微混合器，其特征在于：凸脊個數 n = l - 3 2 l 1 , ]]>l表示混合通道的長度，l₁為凸脊的邊長。

3、權利要求1所述的一種能夠快速均勻混合氣體的微混合器的制備方法，其特征在于：先在兩面拋光的硅板上刻蝕出一個與反應量相對應體積大小的帶有凸脊的T型通道，凸脊的個數 n = l - 3 2 l 1 , ]]>然后再與相對于槽道三個端口位置上打了孔的耐熱玻璃陽極鍵合，使得原本開口的槽道能閉合成微型管道，并在出口處做上接口，套上管子通入或引出氣體。

4、權利要求3所述的一種能夠快速均勻混合氣體的微混合器的制備方法，其特征在于：用干法刻蝕的方法或是深離子反應刻蝕技術微加工技術刻蝕出一個與反應量相對應體積大小的帶有凸脊的T型通道。