[發明專利]納米粉體機無效
| 申請號: | 200710023557.7 | 申請日: | 2007-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN101318219A | 公開(公告)日: | 2008-12-10 |
| 發明(設計)人: | 邊浩光 | 申請(專利權)人: | 邊浩光 |
| 主分類號: | B22F9/14 | 分類號: | B22F9/14 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214181江蘇省無*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 納米 粉體機 | ||
1、一種納米粉體機的裝置,包括真空室(1)、設在真空室(1)內的坩堝(2)等離子體產生裝置 (3)、粒子收集裝置(4)及冷水循環系統(10)等,其特征在于:所述等離子體產生裝置(3)為外 置高頻引弧裝置,其等離子槍由真空室(1)的壁伸入到坩堝(2)的上方。
2、如權利要求1所述的納米粉體機的裝置,其特征在于:所述粒子收集裝置(4)包括雙層套 筒(5)及設在雙層套筒下部的負壓抽取裝置(6),且雙層筒(5)置于真空室(1)內的坩堝(2)四 周,負壓抽取裝置(6)設在真空室(1)外;所述雙層筒(5)的空腔與冷卻液連通,其外壁還設有 冷凝管(7)。
3、如權利要求1或2所述的納米粉體機的裝置,其特征在于:所述真空室(1)的項部設有可 上下移動的陰極(8)。
4、如權利要求1所述的納米粉體機的裝置,其特征在于:所述粒子收集裝置(4)的氣相出口 通過循環泵(9)與真空室(1)連通。
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