[發明專利]微機電系統磁場傳感器及磁場測量方法

無效

• 申請號: 200710022805.6
• 申請日: 2007-05-22
• 公開（公告）號: CN101059557A
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發明（設計）人: 陳潔;黃慶安;秦明;張中平
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R33/07
• 分類號: G01R33/07
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 葉連生

1.一種微機電系統磁場傳感器，其特征在于該傳感器以襯底(6)為平面，在 襯底(6)上設有由定梳齒電極(1)、動梳齒電極(2)、金屬線(3)、連接彈簧(4)、 錨區(5)組成的、左右對稱于中線的傳感器結構，定梳齒電極(1)與動梳齒電 極(2)的梳齒部分相交錯放置，二者之間互不接觸；在動梳齒電極(2)的兩側 分別設有連接彈簧(4)，連接彈簧(4)的兩外端分別固定在錨區(5)上，金屬 線(3)位于連接彈簧(4)的上方，其兩端固定在錨區(5)上，金屬線(3)能 隨動梳齒電極(2)移動。

2.一種如權利要求1所述的微機電系統磁場傳感器的磁場測量方法，其特 征在于，磁場是利用感生電壓的方法來測量的，即當該傳感器處于磁場中時，在 外加的電場作用下，使動梳齒電極(2)發生相對運動，動梳齒電極(2)的運動 方向與磁場垂直，動梳齒電極(2)帶動其結構上方的金屬線(3)運動，金屬線 (3)在磁場中運動感生出電壓，而電壓的大小取決于磁場的大小和金屬線(3) 運動的速度，通過測量金屬線(3)上的電壓，測得到磁場的大小。