[發明專利]一種納米二氧化硅磨料拋光液的制備方法無效

申請號：	200710022356.5	申請日：	2007-05-15
公開（公告）號：	CN101307211A	公開（公告）日：	2008-11-19
發明（設計）人：	仲躋和	申請（專利權）人：	仲躋和
主分類號：	C09G1/02	分類號：	C09G1/02
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	226600江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種納米二氧化硅磨料拋光制備方法
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【權利要求書】：

1、一種納米二氧化硅磨料拋光液的制備方法，其特征在于：先將磨料II均勻溶解于去離子水中，然后在千級凈化室的環境內，在真空負壓的動力下，通過質量流量計將溶解的磨料II液體輸入容器罐中，與容器罐內的所需重量的磨料I進行混合并充分攪拌，混合均勻后將拋光液的其余組分加入容器罐內再繼續充分攪拌，混合均勻即制備成成品拋光液；所述各種組分所占的重量百分比為：磨料I為10％～40％，磨料II為5％～20％，表面活性劑為0.01％～0.6％，PH調節劑為1％～6％，去離子水為余量。

2、根據權利要求1所述納米二氧化硅磨料拋光液的制備方法，其特征在于：所述千級凈化室的環境溫度為常溫；真空壓力為-105～0MPa。

3、根據權利要求1所述納米二氧化硅磨料拋光液的制備方法，其特征在于：所述磨料I的粒徑為10～80nm；所述磨料II的粒徑為50～150nm。

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