[發明專利]十字架結構的二維風速風向傳感器及其制備方法

有效

• 申請號: 200710022268.5
• 申請日: 2007-05-11
• 公開（公告）號: CN101059528A
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發明（設計）人: 秦明;沈廣平;黃慶安
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01P5/12
• 分類號: G01P5/12;G01P13/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 葉連生

1.一種十字架結構的二維風速風向傳感器，其特征在于該傳感器采用玻璃襯底，中央的加熱電阻(1)為十字架結構，第一測溫電阻(2)，第二測溫電阻(3)，第三測溫電阻(4)，第四測溫電阻(5)，分別對稱分布在十字架結構加熱電阻之間，對稱分布在玻璃襯底周圍的16個壓焊塊(6)，對加熱電阻和四個測溫電阻進行分別引出。

2.根據權利要求1所述的十字架結構的二維風速風向傳感器，其特征在于所述襯底的材料由玻璃替換為陶瓷或其它低熱導率的材料。

3.根據權利要求1或2所述的十字架結構的二維風速風向傳感器，其特征在于加熱電阻(1)、第一測溫電阻(2)、第二測溫電阻(3)、第三測溫電阻(4)和第四測溫電阻(5)為利用剝離工藝制作的鎳或者其它高溫度系數金屬電阻。

4.根據權利要求1所述的十字架結構的二維風速風向傳感器的制備方法，其特征在于采用如下工藝步驟：

a)在PREX7740玻璃襯底上淀積500A的鈦和2000A的鉑，利用金屬剝離工藝形成以下6個部分的圖形：十字架結構加熱電阻(1)、第一測溫電阻(2)、第二測溫電阻(3)、第三測溫電阻(4)、第四測溫電阻(5)、壓焊塊(6)；

b)在壓焊塊(6)圖形處利用剝離工藝形成3000A的金層。