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[發(fā)明專利]一種自清潔氧化物薄膜和制備方法及其應用無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200710021627.5 申請日: 2007-04-18
公開(公告)號: CN101041894A 公開(公告)日: 2007-09-26
發(fā)明(設計)人: 殷江;劉治國 申請(專利權)人: 南京大學
主分類號: C23C18/00 分類號: C23C18/00;C09K3/18;A61L9/00;C04B41/50;C04B41/85;C03C17/23
代理公司: 南京蘇高專利事務所 代理人: 闕如生
地址: 210093*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 清潔 氧化物 薄膜 制備 方法 及其 應用
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